三坐标校准双频激光干涉仪

仪器的校准是产品控制的重要一环。随着三坐标测量机的不断发展，传统的校准方法已经无法满足一些大型三坐标测量机的校准工作。JJF1064-2010《坐标测量机校准规范》是我国各计量技术机构及校准实验室对三坐标测量机进行校准的技术依据。其中规定，在实物标准器无法满足测量要求时，可使用激光干涉仪进行位置示值误差测量，并且测量可以只在使用尺寸实物标准器不能满足要求的轴向进行。关于尺寸实物标准器的要求中有“在尺寸实物标准器的大长度无法达到空间对角线的66%时，可以增加测量位置或使用激光干涉仪进行位置示值误差测量”的规定。

该双频激光干涉仪的示值误差直接影响对三坐标测量机示值误差的校准结果，因此要尝试各种不同的校准试验方法，尽量避免或减少由激光干涉仪的激光发生器、环境补偿系统、夹持器组、线性长度测量镜组、重负荷三脚架等引入的测量误差。

三坐标校准双频激光干涉仪的测量过程

首先需要对实验对象三坐标测量机的测量数据进行标定，以减少系统误差，降低其对三坐标测量机准确度的影响，保证三坐标测量机的稳定运行和测量数据的准确可靠，使该三坐标测量机满足试验对象的要求。

标定过程中，需确定仪器或系统的输入与输出之间关系：给予仪器以及测量系统分度值，获得仪器以及测量系统的静态特性，以此减小系统误差，提高系统的测量准确度。

技术参数：

稳频精度：0.05ppm

动态采集频率：50kHz

预热时间：≤6分钟

工作温度范围：0-40℃

存储温度范围-20~70℃

环境湿度0-95%RH

环境补偿单元：

空气温度传感器：±0.1℃（0~40℃）分辨力0.01℃

材料温度传感器：±0.1℃（0~55℃）分辨力0.01℃

空气湿度传感器：±5%RH（0-95%RH）

大气压力传感器：±0.1kPa（65~115kPa）

线性测量：

测量距离：0-80m(无需远距离线性附件）

测量精度0.5ppm (0-40℃）

测量分辨力：1mm

测量大速度：4m/s