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LX9300大功率分立器件测试系统本测试系统不仅满足大功率VDMOS的GFS(跨导)测试、IGBT功率参数的测试,还涵盖中小功率半导体器件的测试,适用于半导体器件生产厂家进行圆片中测或封装成测,各类整机厂家、科研院所的质量检测部门进行入厂检验、可靠性分析测试。
系统的人机界面有好,编程容易,软件能对用户输入的数据进行自动查错。
系统软件可进行器件参数的分档、分类编程,并可实时显示和记录分档、分类测试结果,测试结果和统计结果均可以用EXCEL格式存贮于计算机中,根据需要可以打印输出。
系统为模块化、开放式结构。测试原理符合相应的国家标准、国家用标准。
LX9300大功率分立器件测试系统系统特点
◆ PC机为系统的主控机
◆ 菜单式测试程序编辑软件操作简便
◆ 预先连接测试自动识别NPN/PNP
◆ 0~±2000V程控高压源(可扩展到±3000V)
◆ 高达±500A程控高流源(可扩展到±1000A)
◆ ±40V/±40A(可扩展到±80V、±50A)的可编程电压电流源通过测试系统*的硬件闭环测试方法实现功率VDMOS的GFS跨导的测试
◆ 测试漏流zui小分辨率达6.1pA
◆ 四线开尔文连接保证加载测量的准确
◆ 通过IEEE488接口连接校准数字表传递国家 计量标准对系统进行校验
◆ Prober接口、Handler接口可选(16Bin
测试系统主要测试对象参数:
测试对象 | IPM智能功率模块 |
测试参数 | VCE(sat)、VEC、ICES、VFM、ID、Vth(on)、Vth(off)等 |
硬件基本配置
主控计算机一台:Windows操作系统、PCI插槽1个以上;
计算机接口板(CPUINT)一块
系统接口+电压测量板(SYSINT+VM)一块(含IEEE488接口);
±50A/±50V程控电流电压源(VIS)二块;
±2000V程控电压源(HVS)一块;
电源控制板(PWC)一块;
测试台矩阵板(STATION)一块;
±500A高流源一套
自检模板3个(普通、高压、高流);
IPM专用测试适配器1个