产品品牌：Semiconsoft

产品型号：MProbe NIR

反射膜厚仪

产品概述

采用近红外光谱(NIR)的测厚仪可以用于测量一些可见光和紫外光无法使用的应用领域，比如在可见光范围内有吸收的太阳能薄膜(CIGS, CdTe)可以快速的测量。

测量范围: 100 nm -200um

波长范围: 900 nm -2500 nm

适用于实时在线测量，多层测量，非均匀涂层, 软件包含大量材料库(超过500材料)，新材料可以很容易的添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等

测量指标：薄膜厚度，光学常数

界面友好: 一键式测量和分析。

实用的工具：曲线拟合和灵敏度分析，背景和变形校正，连接层和材料，多样品测量，动态测量和产线批量处理。

（MProble NIR薄膜测厚仪系统示 ）

案例1，73nm SiN氮化硅薄膜的测量

硅晶圆反射率，测量时间10ms

使用Tauc-Lorentz模型，测量SiN薄膜的n和k值