小型匀胶机  

匀胶机被设计为涂胶处理小碎片至4英寸圆晶尺寸底物，使用工业级直流马达和单片机控制，文本显示器人机界面。  

LH3-EZ4匀胶机被设计为结构紧凑、简单易用，可多步程控操作，尺寸小巧，易于放入手套箱内操作。采用全阳极氧化铝面板外壳，PP材料内腔，经久耐用。  

产品性能参数：  

支持wafer尺寸：1cm-150mm（6"圆晶）  

速度可调范围：100-10000rpm  

加速度可调范围：100-10000rpm/s  

转速分辨率：1rpm  

转速精度：＜±5rpm  

可编程5组5步程序  

宽电压输入：AC100-230V  

产品特性优点：  

75W直流无刷电机，单片机控制  

高清晰文本显示器  

可单步和多步匀胶操作  

PP耐腐蚀内腔，可更换  

铝合金阳极氧化外壳，美观大方  

耐溶剂PC透明盖  

多角度定位铰链设计  

HDPE真空吸盘  

产品外型尺寸：  

250mm(D)*210mm(W)*200mm(H)