白光干涉仪优势：
 

　　价格优势：市场上性价比的白光干涉仪。
 

　　简单易用：只需将样品放置于样品台上，即可直接进行测量；
 

　　可以测量非接触式非平坦样品：由于光学轮廓测量法是一种非接触式技术，可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。还轻松地测量曲面的表面光洁度，纹理和粗糙度。除此之外，作为一种非接触式方法光学轮廓仪不会像探针式轮廓仪那样损坏柔软的薄膜。
 

　　无需更换耗材：只需要一个LED光源，无需其他配件更换；
 

　　可视化3D功能：Xper WLI轮廓仪具有强大的处理软件，软件除包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量外，还可以任意角度移动样品量测三维图形，多角度分析样品图像。
 

　　白光干涉仪应用领域：

 

　　纳米尺度的厚度和轮廓检测
 

　　WLI和PSI模式转换
 

　　工业应用：样品和轮廓检测
 

　　样品类型：半导体晶圆，纳米器件，生物材料，MEMS:微电子机械系统，lED发光二极管