白光干涉仪

Xper WLI 是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

优势：

价格优势：市场上性价比的白光干涉仪。

简单易用：只需将样品放置于样品台上，即可直接进行测量；

可以测量非接触式非平坦样品：由于光学轮廓测量法是一种非接触式技术，可以轻松测量弯曲和其他非平面表面。还轻松地测量曲面的表面光洁度，纹理和粗糙度。除此之外，作为一种非接触式方法光学轮廓仪不会像探针式轮廓仪那样损坏柔软的薄膜。

无需更换耗材：只需要一个LED光源，无需其他配件更换；

可视化3D功能：Xper WLI轮廓仪具有强大的处理软件，软件除包括表面粗糙度，形状和台阶高度的测量外，还可以任意角度移动样品量测三维图形，多角度分析样品图像。

应用领域：

纳米尺度的厚度和轮廓检测

WLI和PSI模式转换

工业应用：样品和轮廓检测

样品类型：半导体晶圆，纳米器件，生物材料，MEMS:微电子机械系统，lED发光二极管

规格

原理：白光干涉原理

用途：表面三维剖面测量，表面粗糙度测量

Z轴分辨率：1.75nm 

CCD 分辨率：2464*2056

扫描范围：30 μm

物镜：10X, 20X, 50X, 100X

照明：LED

PSI模式滤光片组件：532，633nm（可见光范围：400-750nm） 

软件功能：自动实验条件设置

后期处理：平滑处理/ z轴控制因子设置/偏移控制，X / Y轴轮廓提取

成像案例：

半导体器件

牙齿表面分析