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同步源测系统RTM2-制样无需复杂光刻（样机可试用）
昊量光电全新推出的同步源测系统RTM2。利用同步源测系统RTM2的集成开关矩阵实现无限的精度和稳定性用于片状、霍尔和电阻张量的测量。
同步源测系统RTM2具有高精度的霍尔效应测量，无需光刻图案，适用各种形状样品。测量电阻范围从Nano-Ohm 到Tera-Ohms，高达8位以上动态范围。
集成多功能开关矩阵结构，可取代锁相放大器、源测量单元、数字万用表和模拟矩阵开关。
同步源测系统RTM2-制样无需复杂光刻主要功能：
同步源测系统RTM2专为自动精密测量电阻和相关量而设计。半导体参数分析仪RTM2将直流和交流测量与集成开关矩阵结合在一起。
同步源测系统RTM2具有锁定放大器的低噪、具有万用表 8 位以上的动态范围和较好的稳定性，可研究 ppb 级效应。nΩ研究变得所未有的简单。
创新的连接器设计允许传统的 BNC 操作与被动屏蔽或主动防护屏蔽。这将直流阻抗上限扩展到了 Tera-Ohm 范围，并将交流带宽提高了约两个数量级，以测试MΩ器件。
同步源测系统RTM2只需一台设备就能自动记录完整的电阻张量（Rx、Ry、RH），即使是在无图案的薄膜上。
同步源测系统RTM2可用于材料研究、薄膜表征以及传感器、晶片和设备测试。在快速多路复用设置中进行交流测试的能力，可在现场生产过程中实现更严格的元件分选。
同步源测系统RTM2开关矩阵的优点：
万用表或锁相放大器等传统精密设备依赖于与被测设备（DUT）静态连接的四线电阻测量方法。这种方法不可避免地会受到来自被测设备和测量设备本身的各种干扰影响。
惠斯通电桥或平版印刷霍尔条图案等测量安排可用于减少某些干扰的影响，但它们都依赖于实际电阻器或蚀刻图案的精确和稳定的对称性，这在实践中是无法实现的。
相比之下，矩阵开关可以在时域中分离干扰的影响。其中一个例子是van-der-Pauw范德堡方法，它可以精确区分纵向和横向电阻，即使是在没有光刻图案的不规则形状样品上也是如此。
另一个例子是某些直流仪表采用的 "自动归零（auto-zeroing）"，以补偿偏移漂移。但这还不够。同步源测系统RTM2的全矩阵切换功能及其与紧密多路交流测量的兼容性为我们带来了无限可能。
可以对偏移和增益漂移进行补偿，从而实现无限的稳定性。这里的 "无限 "是字面意思：可实现的精度不是 7、8 或 10 位数，而是您愿意等待的位数。在自己的实验室里进入计量圈子吧！
还可以对整个仪器的复合非线性进行补偿。这样就可以测试亚ppm 级的 I-V 非线性，从而在较低和较温和的电流密度下看到更高阶的传输物理。
同步源测系统RTM2突出亮点
基于集成开关矩阵的可重构设备架构
8 个用户自定义端口（BNC 连接器），功能（输入、输出和/或参考）可自由确定
BNC 屏蔽可配置为无源接地或有源屏蔽
使用固定连接（开尔文或霍尔几何）进行传统的交流和直流 4 线测量
交替连接的交流和直流测量（电阻张量测量、范-德-波测量或电阻率测量）
同时测量薄膜纵向和横向电阻的精确绝对值，无需光刻图案
常用测量模式的软件预设，可任何用户特定的切换序列
基于 TCP 的通信，可轻松集成到任何环境中（如 Labview、C、Python）
同步源测系统RTM2主要的优势：
可替代所有用于电气特性测量的标准设备(例如锁定放大器、SMU、DMM）
通过集成的矩阵开关克服了静态 4 点测量的局限性
提供范-德-波测量和电阻张量测量的预设值，并允许用户进行全面配置
无需进行复杂的样品制备（如平版印刷）。
可轻松连接多种不同的测量装置（如探针台、低温恒温器、真空系统等）
节省测量时间，提高样品吞吐量
同步源测系统RTM2主要的应用领域
材料研究与表征
固体物理
半导体物理
磁性器件
柔性电子器件
自旋电子学
新型功能电子材料和器件
工业研发和晶片/设备测试
微电子设备
存储器
晶体管、二极管
LED/OLED
太阳能电池
显示器、TCO
传感器
同步源测系统RTM2典型测试示例：
在标准几何结构（开尔文和霍尔布局）中进行超低噪声、高稳定性交流和直流 4 线测量
对不规则、无结构薄膜样品进行范德保开关连接 4 线测量
基础物理学和计量学中的亚ppm 相对变化和非线性测量
零偏移霍尔 4 线测量（即使是非结构化样品，也能准确分离纵向电阻和横向电阻）
比率电阻测量，消除样品和设备漂移
高驱动谐波失真测量
脉冲和测量例程
设备前面板包括：1. 8个BNC端口，用于多个模拟功能：驱动、感测、参考相位锁定。2. LED指示灯，用于指示端口功能：输入（白色箭头）或输出（蓝色箭头）。3. 冷却风流入口（请勿阻挡）。4. 便于携带和机架安装的把手。5. 19英寸机架安装孔。
设备后面板包括：6. 2个BNC端口，用于多个数字功能：触发、阈值检查、PWM。7. 以太网连接器，用于主要的TCP通信。8. 带保险丝和开关的主电源插口。9. 设备信息显示。10. 冷却风流出口（请勿阻挡）。
电气规格
模拟输出 | |
对称输出 | DC to 60 kHz, ±20 V, ±200 mA |
输出噪声底限 | < -150 dBFS |
积分非线性误差 | 5 ppm |
时间分辨率 | 2µs脉冲和任意波形模式 |
开关矩阵 | |
矩阵大小 | 8接口x 4模拟功能 |
大开关频率 | 1 kHz |
开关电阻 | 2.5 Ω, SNS: 5.0 Ω |
浮动列阻抗 | 0.5 TΩ || 5 pF |
测量 | |
BJT输入（SNS+和SNS-的复合） | 1.5 nV/√Hz, 2500 fA/√Hz |
FET输入噪声（SNS+和SNS-的复合） | 8 nV/√Hz, 2 fA/√Hz |
FET输入负载 | <1 pA, 0.1 pA/V, 8 pF |
电阻测量噪声底线 | 10 nΩ/√Hz（直接BJT输入） |
<1 nΩ/√Hz（变压器耦合的FET输入） | |
增益变化 | 100 ppm/K |
<1 ppm/K（比例模式） | |
1 ppb（在有热稳定参考的比例模式） | |
直流偏置电压变化 | ±1 μV/K, ±3 ppm/K |
<0.1 ppm/K (差分模式) | |
范围 | |
串联电阻 | 4, from 100 Ω to 20 MΩ |
输出电压测量 | 4, log, from 20 V to 2 V |
输入电压测量 | 8, log, from 20 V to 100 mV |
电流测量 | 4 per resistor, log, from 200 mA to 100 nA |
在范围内的基本精度 | <1 ppm满量程，用于输出电压和电流 |
<0.1 ppm满量程，用于输入电压 | |
在一个范围内的连续动态范围 | > 8 digits |
相位和频率同步 | |
输出端口 | 任何一个前端BNC端口 |
输入端口 | 固定:任何前端的BNC |
动态:跟随任何模拟函数 | |
同步范围 | 2 Hz到50 kHz，任意相移 |
波形类型 | 输出：正弦波 |
输入：任意信号(锁定到主导频率) | |
数字I/O端口 | |
信号电平 | 单端3.3V cmos逻辑，正极触发 |
带宽 | 10 MHz |
输入函数 | HI/LO，触发(解调或脉冲产生)，pwm -模拟计数器，联锁 |
输出函数 | HI/LO，同步脉冲(开始解调或脉冲产生)，模拟- pwm输出，限位指示 |
时间延迟 | < 100 ns(到数字I/O功能) |
< 50 µs(模拟I/O功能) | |
输出脉冲形状 | 100µs HI脉冲，否则为LO |
硬件/安装
大小 | 19英寸机架安装设备，2个高度单位，32厘米深度 |
功率需求 | <75 W，通用AC单相AC输入，C14连接器 |
操作范围 | 0°C - 50°C，无冷凝湿度 |
前端连接器 | BNC, 50 Ω型，防护罩可切换为防护罩或底盘 |
后端连接器 | BNC, 50 Ω型，屏蔽连接到机箱 |
通讯端口 | 以太网 |
制冷 | 增压气流从前到后 |
前端LED指示灯 | 操作，通道选择，都是可调的和可分离的 |
Tensormeter RTM2 19英寸机架安装设备
软件包，包括LabVIEW和Python的客户端代码示例（无需驱动程序）
Tensormeter RTM2用户指南，包括TCP命令、操作参数指南
带F型连接器的主电源电缆（根据需要提供其他类型）
以太网电缆
