近年来，精密测量技术发展迅速，成果喜人。例如在线测量技术，已可进行加工状态的实时测量与显示，及时检测加工是否出现异常状况，从而可大幅度提高生产效率。
在高精度加工和质量管理过程中，随着光机电一体化、系统化的发展，光学测量技术有了迅速发展，相应的测量机产品大量涌现，测量软件的开发也日益受到重视。

近年来，利用光学原理开发的非接触测量机及各种装置非常多。如MARPOSS公司的非接触式工具测量系统MidaLaser就是采用激光测头的新型测量机，该机可在CNC机床保持运转的情况下自动对所有工具进行非接触测量，并可根据测得值对工具进行自动定位。索尼精密工程公司的非接触形状测量机YP20/21也是利用半导体激光高速高精密自动聚焦传感器的形状测量机，所有刻度尺均系标准元件，传感器和载物台均由微型计算机控制，具有优异的操作性能和数据处理功能。YKT公司销售的非接触三坐标测量系统Zip250是一种高刚性、高速、高精密的新型测量机。该机载物台的承载量为25kg，刻度尺的分辨力（X、Y、Z轴）均为0.25μm。机上装配了带数码法兰盘的CCD摄像机和DSP处理器，因此可进行高速图像处理测量，同时也可与接触式测头并用进行相关测量。

随着非接触、率测量机的大量出现，专家预计，21世纪测量技术的发展方向大致如下：

（1）测量精度由微米级向纳米级发展，测量分辨力进一步提高；

（2）由点测量向面测量过渡（即由长度的精密测量扩展至形状的精密测量），提高整体测量精度；

（3）随着图像处理等新技术的应用，遥感技术在精密测量工程中将得到推广和普及；

（4）随着标准化体制的确立和测量不确定度的数值化，将有效提高测量的可靠性。

总之，测量技术必须实现高精度化，同时也要求实现高速化和率化，因此，非接触测量和率测量也必然成为新世纪精密测量技术的重要发展方向。