带位置编码器的纳米机械手-MM3E
时间:2024-10-30 阅读:83
德国Kleindiek公司的MM3E 以经典的,广泛使用的 MM3A-EM 微纳米操纵仪韦基础,具有与 MM3A 相同的紧凑性、精确性和稳定性,并结合了闭环位置反馈功能(closed-loop positional feedback)。这一改进为提高系统的易用性提供了手段(例如,通过定义停止位置parking position和工作位置working position,一键点击,使机械手前端的探针到达目标位置,大大提高了工作效率)。
MM3E 与市场上几乎所有的 SEM 或 FIB/SEM 兼容。它配备了一个直观的拖放式(drag&drop-style)控制软件,可方便地在 SEM 或 FIB/SEM 内对探针进行三维定位。
软件可执行坐标变换,使 MM3E 以笛卡尔坐标系运动,其重现性仅为几微米。通过选配编码的轴向旋转单元,试样可以在靠近试样的位置进行同心旋转(compucentrically)。
应用领域:
TEM 原位提取(In-situ lift-out)
纳米探测(Electrical probing)
纳米操纵(Nanomanipulation)
Compucentric rotation within a field of view of 30 µm