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带位置编码器的纳米机械手-MM3E

时间:2024-10-30      阅读:83

德国Kleindiek公司的MM3E 经典广泛使用的 MM3A-EM 微纳米操纵仪韦基础,具有与 MM3A 相同的紧凑性、精确性和稳定性,并结合了闭环位置反馈功能closed-loop positional feedback。这一改进为提高系统的易用性提供了手段(例如,通过定义停止位置parking position和工作位置working position一键点击,使机械手前端的探针到达目标位置,大大提高了工作效率)。

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MM3E 与市场上几乎所有的 SEM FIB/SEM 兼容。它配备了一个直观的拖放式drag&drop-style控制软件,可方便地在 SEM FIB/SEM 内对探针进行三维定位。

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软件可执行坐标变换,使 MM3E 笛卡尔坐标系运动,其重现性仅为几微米。通过选配编码轴向旋转单元,试样可以在靠近试样的位置进行同心旋转compucentrically 

应用领域:

TEM 原位提取(In-situ lift-out

纳米探测(Electrical probing

纳米操纵(Nanomanipulation

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Compucentric rotation within a field of view of 30 µm


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