将低温泵并入真空系统中，达到清洁的超高真空环境。真空系统的主要配置和注意事项，低温泵的选型计算，安装、使用和维护等环节。通过严格把关各研发环节，按照超高真空规范进行清洗，近年来无油真空泵在半导体行业为代表的领域被引进并广泛应用。

  作为完整的抽气系统，低温泵由两部分组成，主体为真空泵体，第二部分为压缩机。现在得到广泛应用的都是制冷机式低温泵，其核心是低温制冷机。

  抽气面就可以冷凝沸点温度较低的气体，从而抽出大量的气体。这种利用低温抽气面将气体冷凝的抽气泵叫低温泵，或冷凝泵。是利用低温介质降低表面温度后将气体冷凝、将被抽空间的压力降低，而获得真空或维持真空状态的装置。

  选择低温泵的优势有：

  1、抽气范围宽，可快速获得理想的超高真空环境，对被抽气体无选择，杂质颗粒而不影响系统工作；

  2、可以任意角度安装，没有运动部件，不需要前级泵，运行和维护成本低；与口径相同的其它真空泵相比，低温泵有更大的抽速，尤其抽出水蒸汽的能力；

  3、压缩机断水后可以自保护，所以可以实现无人值守。