KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列 资料一
时间:2020-05-26 阅读:325
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325次法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB微流控芯片光刻机/曝光机系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理大直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列*的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其小分辨率可达2μm,大发散角小于2°