高能激光测试仪激光持续时间测试
时间:2023-11-06 阅读:327
该产品采用了积分球技术、抗激光辐射漫射涂层技术、高精度激光能量和波形采样技术,具有抗激光破坏阈值高、响应时间快、恢复时间短和测试参数多等特点。适用于高能激光器及其系统的激光输出参数快速测试,可同时对多个激光参量进行快速测试。
激光输出能量测试
激光输出波形测试
输出激光功率测试
激光持续时间测试
激光峰值功率测试
存储和结果查询
技术参数:
适用激光波长:1.315μm或3.8μm
激光能量:1~3000kJ
显 示:LCD
积分球直径:1000mm
输入口径:220mm
响应时间:≤3s
*大激光功率:300kW
不确定度:≤10%
计算机接口:485接口
电 源: 功耗:≤20W
外形尺寸(W×H×D): 积分球探测器:≤1100mm×1500mm×1050mm
显示其外形尺寸:≤350mm×160mm×330mm
重量:≤380kg
KPBGS-6341电子薄膜应力分布测试仪
该仪器是为解决微电子、光电子科研与生产中基片平整度及薄膜应力分布的测试而设计的。它通过测量每道工序前后基片面形的变化(变形)来测量曲率半径的变化及应力分布,从而计算薄膜应力。广泛应用于半导体器件工艺研究及质量控制,为改善半导体器件可靠性提供测试数据。
本仪器适用于测量Si、Ge、CaAs等半导体材料的基片平整度,以及氧化硅、氮化硅、铝等具有一定反光性能的薄膜的应力分布。
技术参数:
测试硅片尺寸:2~4英寸
硅片曲率范围:|R|> 5米
测试精度:5%(在R=±8米处考核)
单片测试时间:3分钟/片
输出结果类型:面形、曲率分布、梯度分布和应力分布
图形显示功能:三维立体显示、二维伪彩色显示、统计数据表格
电 源:AC 220(1±10%)V,50(1±5%)Hz
*大功耗:100W
外形尺寸:285mm×680mm×450mm
重 量:≤36kg