[2] 泵和电机可以从坚固的定排量齿轮泵或叶片泵到具有精细间隙 [表 1] 和高成本的精密可变排量柱塞泵。在许多情况下，泵可能是规划过滤的关键因素。
9）控制放大器还含有对反应信号Uf和电压差U的处置环节。比方状态反应控制和PID调理等。
带位置反应的滑阀式方向比例阀，其工作原理是:在初始状态，控制放大器的指令信号UF=O，阀芯处于零位，此时气源口Р与A、B两端输出口同时被切断，A、B两口与排气口也切断，无流量输出，同时位移传感器的反应电压Uf=0。若阀芯遭到某种干扰而偏离调定的零位时，美国穆格MOOG伺服阀位移传感器将输出一定的电压Uf，控制放大器将得到的U=-Uf放大后输出给电流比例电磁铁.电磁铁产生的推力迫使阀芯回到零位。若指令Ue>0，则电压差U增大，使控制放大器的输出电流增大，比例电磁铁的输出推力也增大，推进阀芯右移。而阀芯的右移又惹起反应电压ur的增大，直至Uf与指令电压Ue根本相等，阀芯到达力均衡。此时。
[2] 泵和电机可以从坚固的定排量齿轮泵或叶片泵到具有精细间隙 [表 1] 和高成本的精密可变排量柱塞泵。在许多情况下，泵可能是规划过滤的关键因素。
9）控制放大器还含有对反应信号Uf和电压差U的处置环节。比方状态反应控制和PID调理等。
带位置反应的滑阀式方向比例阀，其工作原理是:在初始状态，控制放大器的指令信号UF=O，阀芯处于零位，此时气源口Р与A、B两端输出口同时被切断，A、B两口与排气口也切断，无流量输出，同时位移传感器的反应电压Uf=0。若阀芯遭到某种干扰而偏离调定的零位时，美国穆格MOOG伺服阀位移传感器将输出一定的电压Uf，控制放大器将得到的U=-Uf放大后输出给电流比例电磁铁.电磁铁产生的推力迫使阀芯回到零位。若指令Ue>0，则电压差U增大，使控制放大器的输出电流增大，比例电磁铁的输出推力也增大，推进阀芯右移。而阀芯的右移又惹起反应电压ur的增大，直至Uf与指令电压Ue根本相等，阀芯到达力均衡。此时。
Ue=Uf=KfX(Kf为位移传感器增益)
上式标明阀芯位移×与输入信号ue成正比。若指令电压信号Ue<)，经过上式相似的反应调理过程，使阀芯左移一定间隔。
阀芯右移时，气源口Р与A口连通，B口与排气口连通;阀芯左移时，P与B连通，A与排气口连通。节流口启齿量随阀芯位移的增大而增大。上述的工作原理阐明带位移反应的方向比例阀节流口启齿量与气流方向均受输入电压Ue的线性控制。
这类阀的优点是线性度好，滞回小，动态性能高。
滑阀式二级方向伺阀
液压伺服阀结构及工作原理Ue=Uf=KfX(Kf为位移传感器增益)
上式标明阀芯位移×与输入信号ue成正比。若指令电压信号Ue<)，经过上式相似的反应调理过程，使阀芯左移一定间隔。
阀芯右移时，气源口Р与A口连通，B口与排气口连通;阀芯左移时，P与B连通，A与排气口连通。节流口启齿量随阀芯位移的增大而增大。上述的工作原理阐明带位移反应的方向比例阀节流口启齿量与气流方向均受输入电压Ue的线性控制。
这类阀的优点是线性度好，滞回小，动态性能高。
滑阀式二级方向伺阀
液压伺服阀结构及工作原理