ICP-MS用作半定量分析时可测定约80种元素，绝大多数元素误差小于20%。用内标校正空白和样品分析之间的漂移。Soldevila等系统地评估了ICP-MS多元素半定量分析时的工作参数（驻留时间，每次读数的扫描次数，每次重复的次数和总的重复次数）的影响。

 

　　等离子体质谱ICP-MS的优势特点：

　　进样系统：敞开式进样系统结构，使用外部安装的雾化器，自我定位，无需调整。

 

　　炬位调整系统：计算机控制x、y、z三维炬管位置，所有调整参数存入分析方法内。

 

　　等离子体屏蔽技术：更大地提高仪器的灵敏度，改善低质量数元素的检出限，达到ppt水平

 

　　活动阀门：计算机控制阀门，保护仪器真空，便于在真空系统工作时拆装和清洗采样锥和截取锥。

 

　　离子透镜系统：配有高效率六极杆离子导向系统，在全质量范围内获得的离子传输效率，全自动的离子聚焦调谐过程，真空室内的透镜使用非对称安装，方便拆装定位。

 

　　检测器：ETP双模式检测器，分成两部分分列打拿极电子倍增器，无需数/模切换。

 

　　新型真空腔体结构：腔体内无任何导线连接，各个组件采用不对称安装和插入式安装。

 

　　断电保护系统：在意外停电发生时，安全自行关机，而不损坏仪器系统。

 

　　软件：提供自动控制仪器及其附件的能力，软件囊括了多种分析方法，包括特殊的同位素比值测定及同位素稀释法。