石英管注意事项：

·         ·炉管内气压不可高于0.02MPa

·         由于气瓶内部气压较高，所以向炉管内通入气体时，气瓶上必须安装减压阀。

·         当炉体温度高于1000℃时，炉管内不可处于真空状态，炉管内的气压需和大气压相当，保持在常压状态，避免因内外压差导致石英管变形。

·         进入炉管的气体流量需小于200SCCM，以避免冷的大气流对加热石英管的冲击

·         石英管的长时间使用温度＜1100℃

·         对于样品加热的实验，不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热，则需时刻关注压力表的示数，若气压表示数大于0.02MPa，必须立刻打开泄气阀，以防意外发生（如炉管破裂，法兰飞出等）

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