京南华建特气柜制定结构

特气柜主要用要供应特种气体，如易燃，易爆，剧毒等，主要用于半导体和LED的新兴行业。

本实用新型涉及一种气体的供气装置，特别涉及一种应用在半导体、微电 子、光电等行业内工艺制程中使用到的易燃易爆、有毒有害、腐蚀性等特种 气体最合适的钢瓶储存、安全稳定供气的特气柜。

背景技术：

科技在不断前进，技术不断革新，因此半导体和新能源产业也随之蓬勃发 展，作为工业的血脉气体，得到了更广泛的利用。

气体由于其本身的物理和化学性质，决定了其在工业中被广泛利用同时，

也伴随了很高的危险性；气体有毒性的，腐蚀性的，可燃性的，其无论是哪 一种都会对人造成致命的危害，因此对于气体钢瓶的储存、使用及输送便提 出了很高的要求.对于气体的使用不仅是在安全的可靠性，还有就是对于输 送到工艺设备时怎样满足工艺的要求。

因此特别需要一种符合上述要求的特气柜。

◆按瓶数分类：单瓶柜（架）/二瓶柜（架）/三瓶柜（架）

◆按操作方式分类：手动、半自动。

◆气路配件，接头、阀门等全部是进口电子级材料，管道为316L，自动轨道焊接。

◆气路设计合理完善，工作管路具备抽空、回充、压力指示等功能，气瓶柜留有排气口，并具有负压检测 。

◆气瓶柜箱体采用安全设计，所选用的材料适用于各种不同性质的气体，美观，紧凑，安全，质优价廉，可按照客户要求定制。

◆完善的安全报警装置，具有气体泄漏检测报警（如SiH4、PH3、HCL等泄漏报警）报警信号被触发时，自动切断。

特气柜主要应用在 MOCVD、PECVD、刻蚀机等配套设备上，应用于半导体、太阳能电池、生物工程、微电子等行业

京南华建特气柜制定结构