SS-8800肖特基热场发射扫描电子显微镜主要技术参数

1.1 电子光学系统

1.1.1发射源：肖特基热场发射电子枪 （枪真空采用吸气剂泵设计, 发射源寿命：15,000小时）

1.1.2分辨率： 0.9nm@30kV  （SE）

1.1.3加速电压范围：0－30kV，连续可调

1.1.4放大倍数范围：2-1,800,000倍

1.1.5电子束流：1nA～20nA范围内1pA连续可调

1.2 透镜及物镜系统

1.2.1 高性能三级电磁-静电复合透镜系统，具备镜筒内加减速功能

1.2.2 低像差混合锥形物镜

1.2.3 镜筒加速系统

1.2.4 样品台减速系统

1.2.5 物镜系统具备磁性材料分析能力且具备自加热功能

1.3 真空系统

1.3.1真空系统：1个吸气剂泵、2个离子泵，1个涡轮分子泵，1个机械泵组成的机组

1.3.2枪真空优于2×10-7 Pa，样品室真空优于6×10-4 Pa

1.3.3全自动真空控制，具有真空互锁功能

1.4 样品舱及样品台

1.4.1样品室尺寸342mm（长）x324mm（宽）x320mm（高）；

1.4.2五轴全自动优中心样品台、一体化设计样品台行程：

 X:0-150mm；Y:0-150mm；Z：0-150mm；R：360°连续；T：-5°-﹢75°

1.4.3 大型样品舱：内部尺寸342mm（长）x324mm（宽）x320mm（高）

1.4.4 最大载入样品尺寸340mm，样品最大高度260mm

1.4.5 样品台具有接触报警与自停功能.

1.4.6 样品台承受重量5kg

1.5 探测器

1.5.1  样品室独立二次电子探测

1.5.2  样品室独立四象限半导体背散射探测器

1.5.3  镜筒内独立IN-LENS二次电子探测器

1.5.4  CCD红外高清样品舱监视器，具备导航功能

1.6 图像显示与处理

1.6.1 显示方式：最大16384×16384像素显示全屏显示、分屏显示、数字电影、灰度直方图、伪彩色。

1.6.2 图像注释与数据区：提供标准数据区和定制数据区，可在图片上显示各种电镜参数和字符。

1.6.3 状态菜单：显示各种工作参数，如放大倍率、探测器类型、日期、加速电压等。

1.6.4 测量功能：可对图像中的形貌进行点间距、角度、直径等测量。

1.6.5.1 探测器输出输入：支持最多12个信号源输入，最多同时显示4种型号源（单一信号源，或混合信号源SE，BSE，SE+BSE，BSE1，BSE2，CL等其他信号源）

1.6.5.2 扫描速度：实时扫描（快扫），慢扫，区域扫描，速度13档可调；常规扫描；活动选区扫描；线扫描；点扫描；双放大扫描；图像分割扫描

1.6.6.1  图像可存储到操作系统支持的存储介质或输出到打印机。

1.6.6.2  图像存储格式：TIFF、BMP、JPG、PNG数字电影：(.avi)

1.6.7  配套计算机系统 Thinkpad计算机工作站：

Ø计算机配置为主流品牌工作站，其配置不低于： 英特尔至强处理W-2223 3.6G、16G内存、 三星500G SSD+1TB、显卡英伟达 P1000（独显-4G）、950W、Windos系统 、24"液晶显示器、光电鼠标、键盘。

1.6.8  基于WINDOWS10 的中/英电镜操作系统

1.6.9  输入设备：带有旋钮控制的操作面板、键盘、鼠标。

1.6.10  自动调整功能：电子枪，对中，聚焦，亮度，对比度，消像散，像散记忆等。

1.7 软件免费升级，后期可按客户要求有偿进行定制的软件开发。

1.7 真空系统
1.7.1  具备无油分子泵和离子泵及前级无油机械泵
1.7.2  样品室真空度：高真空模式的真空度为2×10-4 Pa
1.7.3  配静音模式，当真空度到达一定数值时，机械泵停止工作，从而降低能耗和噪音，延长机械泵的使用寿命