显微课堂 | 徕卡晶圆检测显微镜 令人信服的技术细节
时间：2024-08-22 阅读：123
晶圆或 LCD 和 TFT 的检验、过程控制和缺陷分析必须快速、精确并符合人体工学。LeicaDM8000M和 DM12000M晶圆检测显微镜提供了一个创新而高性价的系统解决方案，帮助客户充满信心地应对现在和未来的检验挑战。除了大视野和高分辨率光学部件，系统还采用了高度人性化的设计和全内置的 LED 照明，可以从不同角度照亮样品。
DM8000 M / DM12000 M 是一个模块化大型平台检测显微镜平台，可用于 8"/200 mm 和 12"/300 mm 样品检测。
手动检测版本
电动版本
DM8000 M/DM12000 M
01
进入检测领域的第一步
查看样品表面的更多信息，在更短的研究时间内改进产品质量决策。
宏观物镜（Plan APO 0.7x）4倍与常规扫描物镜的视野，用于快速浏览样品
紫外照明可获得更高分辨率，可与斜照明技术相结合，从任意角度以高分辨率查看样品，获得更多样品表面信息，且检验结果精确
符合人体工程学的设计和自动化功能可实现快速、低疲劳操作，避免在重复性样品检测过程中注意力不集中
通过手动、编码和电动功能支持智能工作流程，加快样品检测速度
02
快速样品详览
从用于快速浏览样本的微距物镜（Plan APO 0.7x）到用于观察精细细节的微距物镜。
使用 25 mm (FOV) 目镜，可看到 35.7 毫米的样品表面
一目了然地看到在高倍放大镜下 "看不见 "的宏观缺陷，如材料样品中的曝光缺失区域、鲨鱼齿结构或流动结构
需要检测宏观结构时，无需对样品进行耗时的扫描
只需切换到更高倍率（Obj. HC PL APO 150x/0.90 IVIS BD）即可看到最细微的细节
03
在更短时间内获得更多样品表面信息
紫外照明可获得更高分辨率，可与斜照明技术相结合，获得更多样品表面信息。
以高倍率（150 倍）的彩色模式，通过明场、暗场或DIC模式检查样品，以发现样品缺陷
通过激活紫外线照明来提高光学分辨率，以观察精细的结构
以高分辨率将对比度较低的表面转化为清晰的结构拓扑图，快速发现缺陷
04
通过智能功能支持工作流程
通过手动、编码和电动功能支持智能工作流程，加快样品检测速度。
只需点击一下按钮，即可根据所选方法自动调整照明和对比度设置，从而节省时间并避免出错
集成的 LED 可见光和紫外照明可在几秒钟内切换不同的照明技术，保证污染不会进入无尘间保持，确保洁净室的清洁
内置聚焦探测器，用于检测高反射表面，可快速、轻松地找到正确的聚焦位置