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如何设置扫描电镜(SEM)的参数设置(一)

时间:2024-09-25      阅读:202

扫描电镜(SEM)的参数设置对于获得高质量的图像至关重要。以下是一些主要的参数设置及其影响:






加速电压






- 加速电压决定了电子束的能量,进而影响图像的分辨率和深度。较高的加速电压可以产生更高的能量电子束,使样品表面更容易被穿透,从而获得更深入的图像细节。然而,过高的电压可能会损坏样品。


  - 需要注意的是,高加速电压在SE(二次电子)模式下对样品表面结构细节的分辨能力会降低,而低加速电压则更适用于表面成像。


如何设置扫描电镜(SEM)的参数设置(一)
如何设置扫描电镜(SEM)的参数设置(一)

20kV 10000X SE /10kV 10000X SE








探针电流






- 探针电流是指电子束在扫描过程中的强度。较高的探针电流能够提供更多的电子,从而增强信号强度并减少图像噪音。然而,过高的探针电流可能会导致样品的烧损和退火。








物镜光阑






- 物镜光阑用于减少或排除外来(散射)电子,以获得高分辨率的图像。光阑的选择和调整会影响电子束的直径和图像的分辨率。


  - 在高倍率图像观察时,物镜光阑必须合轴以消除像散。


请注意,不同的电镜设备即使参数相同,成像效果也可能会有差异。因此,为了确定样品成像的最佳设置,需要进行实践操作和反复调整。此外,对于某些特定的样品或研究目的,可能还需要进行额外的样品处理或参数优化。

以上信息仅供参考,具体操作时应遵循设备的使用说明书和实验室的安全规范。


如何设置扫描电镜(SEM)的参数设置(一)

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