微量气体流量计采用热扩散原理，热扩散技术是一种在苛刻条件下性能优良、可靠性高的技术。其典型传感元件包括两个热电阻(铂RTD)，一个是速度传感器，一个是自动补偿气体温度变化的温度传感器。当两个RTD被置于介质中时，其中速度传感器被加热到环境温度以上的一个恒定的温度,另一个温度传感器用于感应介质温度。流经速度传感器的气体质量流量是通过传感元件的热传递量来计算的。气体流速增加，介质带走的热量增多。使传感器温度随之降低。为了保持温度的恒定，则必须增加通过传感器的工作电流，此增加的部分电流大小与介质的流速成正比。
 

　　微量气体流量计在计量过程中影响准确性的因素。主要有以下几个方面：
 

　　1、不合理的管道设计可能造成较大的计量误差。两条并联的管道，当主管网用气时，分管网手动阀关闭。仪器计量正常，当分管网也用气时，手动阀打开，由于主管道的气体由分管道分流一部分，会使主管道内的气压下降，使得流量计表前的压力小于表后的压力，流量计反转，流量计也累积流量，造成了双倍计量。为避免这种情况必须在1号流量计前面安装一个单向阀。
 

　　2、安装方式正确有助于提高计量准确性和延长使用寿命。安装到管道上时，应保证仪器表体上的螺纹孔和管道法兰的螺孔对准，保证法兰的平行度，避免仪器承受其他外力，防止表体受力变形，使仪器卡死。开启时，应先打开前阀门，然后缓慢打开后阀门，使流量计有压启动，避免由于气锤效应，气体把流量计转子冲击变形，造成流量计卡死。
 

　　3、高压计量低压用气。就是将计量室安装到高压管道上，然后通过调压器调压，用气户在低压管道上用气，当低压管道的用气户用气量不大时，根据气体状态方程，在温度相差不多时，低压管道的小流量反算到高压管道流量会更小，甚至这个流量达不到流量计的始动流量。流量计不计数。所以会引起较大的计量误差。