真空电阻炉与真空箱式炉或井式电阻炉相比，具有以下特点：
 

　　1、需要清洁、干燥的气氛环境。一般真空电阻炉安装在环境比较干净，空气比较干燥的地方。特别是高真空电阻炉，对于干燥的气氛更是有严格要求，否则会因为潮湿使炉内材料吸附水分，导致真空度降低或抽气时间增长，达不到工作真空度的要求；
 

　　2、严格的真空密封结构。真空电阻炉的一个关键问题，就是为了保证真空电阻炉的真空性能，要有可靠的真空密封结构，真空密封设计注意以下几点：一是炉体要采用气密焊接，二是在真空系统上尽量少开孔，三是少采用动密封结构，减少真空泄露的机会，另外，安装在真空炉体上的部件或附件，如水冷电极、热电偶伸缩装置也都必须设计密封结构；
 

　　3、热区部件只能在真空状态下使用。真空电阻炉广泛采用了钽、钨、钼等作电热元件或隔热材料，这些材料抗氧化性能较差，在高温状态下极易氧化，因此，真空电阻炉的电热元件与隔热材料只能在真空状态下使用；
 

　　4、水冷装置。高温真空电阻炉的炉壳、炉盖、连接法兰、电极等部件，均在高温受热状态下工作，为保证各部件的结构不变形损坏，真空密封圈不因过热烧毁，对各部件应该根据不同的情况设计水冷装置。对于通有大电流的电缆和变压器，由于自身发热可能被烧毁，也需要进行水冷，以保证真空电阻炉能够正常运行；
 

　　5、 采用低压大电流加热。真空电阻炉真空度低于133Pa时，通电元件在较高的电压下，会产生辉光放电现象，如果炉内被污染，严重的会产生弧光放电，烧毁电热元件、隔热屏，绝缘子被击穿等，造成重大事故和损失，因此大都采用低压大电流加热工作方式，真空电阻炉的电热元件的工作电压，一般都不超过80~100V，为防止辉光放电或者弧光放电的发生，电热元件结构尽量避免有的部位，而且电极间的间距不能太小；
 

　　6、自动化程度高。真空电阻炉一般采用计算机、PLC及智能温度控制器进行控制，以便满足各种温度控制工艺要求，真空电阻炉除温度控制外，还有真空系统、冷却系统、电气控制系统等，状态检测点和控制点多达数十个，甚至上百个，这就需要电阻炉有较高的自动化程度。