实验室高纯锗γ能谱仪是一种分析物质元素的仪器，常与扫描电镜或者透射电镜联用，在真空室下用电子束轰击样品表面，激发物质发射出特征x射线，根据特征x射线的波长，定性与半定量分析元素周期表中B-U的元素，EDS可提供样品表面之微区定性或半定量之成份元素分析，以及特定区域之point、line scan、mapping分析。

　　实验室高纯锗γ能谱仪操作规程：

　　一、开机顺序（严格要求先后顺序）

　　1、打开扫描电镜“仪器”开关

　　2、打开扫描电镜“工作站”开关

　　3、打开扫描电镜“软件”抽真空，开灯丝4、打开能谱“探测器”开关

　　5、打开能谱“工作站”

　　6、打开能谱“软件”

　　7、从能谱软件中打开“制冷(Cooling )”，制冷进入正常状态（绿灯亮），10分钟后才能进行能谱测量。

　　二、能谱使用注意事项

　　1、工件工作距离10mm

　　2、能谱测量时，要求关闭扫描电镜的CCD

　　3、工件加电压20kv

　　4、扫描电镜的spot设置的大，能谱的CPS（输入计数率）高

　　5、样品越平越好

　　6、开关样品门要轻，探测器窗口薄，怕震动7、样品固定，不要有颗粒，颗粒吸附在探测器窗口，长期会使探测器损坏

　　8、不要清洁探测器，不可使用吹气球吹探测器窗口

　　9、工作站防毒，不可使用U盘拷贝数据

　　三、关机顺序（严格要求先后顺序）

　　1、从能谱软件中关闭“制冷”

　　2、关闭能谱“软件”

　　3、关闭能谱“工作站”(若需传输数据，可不关)

　　4、关闭能谱“探测器”开关(不使用能谱仪时需关闭)

　　5、关闭扫描电镜“软件”

　　6、关闭扫描电镜“工作站”开关

　　7、关闭扫描电镜“仪器”

　　四、其他注意事项

　　1、能谱工作站用户名密码

　　能谱工作站，最好使用Administrator登陆，密码apollo。其他账户登陆可能存在问题，最好不使用。

　　2、EDS工作站如果需要切换账户，需先将Cooling off(变红)、TEAM软件关闭后再切换账户，以免探测器IP无法释放，导致故障。

　　3、能谱仪使用完毕需将电源关闭(绿灯灭)。

　　4、以后使用能谱仪需在扫描电镜纸板登记中备注！！！以便实验室登记管理。