Agilent/安捷伦 品牌
代理商厂商性质
杭州市所在地
美国进口涡轮分子泵Turbo-V 1001 Navigator提供从 790 至 1050 L/s（视气体而定）的抽速，并且采用 Navigator 产品线中*进的技术。安捷伦涡轮分子泵经过优化设计，可以在低压强内实现高压缩比，在大抽气量和高前级压强时实现至大的压差。该泵无油、无污染，并且具有非常低的故障率，可以在任何位置任意角度安装而不对材料施加应力。典型的平均故障时间 (MTTF) 大于 250000 小时。涡轮分子泵的应用范围包括高能物理和研究、纳米技术、质谱技术、工业真空加工和半导体，并可用作扫描电子显微镜 (SEM) 的泵。
特性：
1.功耗更低、性能更佳
2.通过减少发热而节能，并提高可靠性
3.为风冷而优化的冷却翅片
4.通过降低工作温度进一步提高可靠性
5.Turbo-V 81-M MacroTorr 泵具有优化的几何尺寸
6.功率要求低，前级耐压高及可承受高气载
7.可拆卸的前级连接器
8.可连接各种前级泵
9.冷却方式灵活（风冷或水冷）
10.采用安捷伦 A-PLUS 软件（原 T-plus 软件）
典型涡轮泵应用：
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到高性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。
美国进口涡轮分子泵Turbo-V 1001 Navigator典型涡轮泵应用
| 领域 | 详细说明 | 应用 |
质谱和分析仪器 |
|
|
科研中的真空应用 |
|
|
工业真空加工 |
| 薄膜沉积：
设备加工：
一般工艺：
|
纳米技术仪器 |
|
|
技术规格：
| 抽速： | ISO 160： CFF 10 英寸或 ISO 200： ISO 250： | N2：790 L/s N2：950 L/s N2：1050 L/s | He：820 L/s He：870 L/s He：900 L/s | H2：860 L/s H2：900 L/s H2：920 L/s |
| 压缩比： | ISO 160 | N2：1 × 109 | He：1 × 107 | H2：1 × 106 |
| 极限真空*（使用推荐的前级泵） | < 1 × 10–10 mbar (< 1 × 10–10 Torr) | |||
| 抽气口法兰 | ISO 160 ISO 200 | ISO 200-F 螺栓 | CFF 10 英寸 | ISO 250 ISO 250-F 螺栓 |
| 前级管道法兰 | KF 40 | |||
| 转速 | 38,000 rpm | |||
| 启动时间 | 小于 4 分钟 | |||
| 推荐的前级泵 | 机械：Agilent DS 402 旋涡式干泵：Agilent TS300，IDP-15 | |||
| 工作位置 | 任意 | |||
| 冷却要求 | 强制通风或水冷 | |||
| 烘烤温度 | 抽气口法兰至高温度 120 °C（CF 法兰） 抽气口法兰至高温度 80 ℃（ISO 法兰） | |||
| 振动参数（位移） | 在抽气口法兰处小于 0.01 μm | |||
| 重量 kg（磅）： | ISO 160 法兰 ISO 200 法兰 CF 10 英寸法兰 ISO 250 法兰 ISO 200-F 和 250-F 螺栓法兰，CF 10 英寸法兰 | 19 (41.8) 19.4 (43.0) 25.5 (54.2) 21.2 (46.6) 25.5 (54.2) | |
