Agilent/安捷伦 品牌
代理商厂商性质
杭州市所在地
安捷伦Agilent TwisTorr 804 FS涡轮分子泵采用 TwisTorr 拖动技术和安捷伦悬浮轴承，具有高性能、高可靠性及经济性。TwisTorr 拖动技术对小分子气体（如氢气和氦气）能提供高压缩比，从而实现大抽气量和高前级耐压，进而能使用更经济实惠、更小型的前级泵。该技术使得转子能采用紧凑的设计，变得高效节能，并能保持较低的工作温度。安捷伦悬浮轴承系统降低了噪音和振动，并能保证优秀的轴承工作条件，从而能延长工作寿命，超大程度减少系统停机时间，并能确保长时间稳定的抽气性能。TwisTorr 804 FS 泵独有的轴承和干式润滑剂设计，使得泵无需泵油和维护，能够以任意方向安装。可选择一体式控制器或机架控制器。
特性：
1.创新的 TwisTorr 技术 — 对小分子气体的高压缩比实现了高性能和最小的系统占用空间。
2.高前级耐压 — 允许使用更小的前级泵，从而降低了系统成本和尺寸。
3.安捷伦悬浮轴承系统 — 低振动、低噪音和游戏轴承工作条件可延长泵的使用寿命，从而实现使用维护成本优化，超大程度减少系统停机时间，并保证长时间稳定的抽气性能。
4.独有的轴承和干式润滑剂 — 免维护、免油，实现任意角度安装。
5.“三维”泵控制软件使灵活性、速度和简便性达到大化，可在泵的操作条件下达到优秀通量和压缩性能。
典型涡轮泵应用：
安捷伦涡轮分子泵包括集成泵组和多流路泵，其设计旨在实际应用中达到优秀性能。泵的紧凑型设计满足工业中的严苛空间要求。涡旋分子泵几乎不需要维护，并可避免错误使用。无论您是终端用户还是原始设备制造商，安捷伦均可针对您的应用为您提供帮助和支持，或定制适合您的需求的系统。
安捷伦Agilent TwisTorr 804 FS涡轮分子泵应用：
| 领域 | 详细说明 | 应用 |
质谱和分析仪器 |
|
|
科研中的真空应用 |
|
|
工业真空加工 |
| 薄膜沉积：
设备加工：
一般工艺：
|
纳米技术仪器 |
|
|
性能指标 ：
| 抽速： | ISO200K-F | ISO250K-F | CFF10 |
| N2 He H2 Ar | 720 L/s 660 L/s 485 L/s 690 L/s | ||
| 最高气体通量 (*) | 风冷 （空气温度 25 °C） | 水冷 （水温 15 °C/室温 25 °C） | |
| N2 | 4.3 mbar L/s 255 SCCM | 6.1 mbar L/s 367 SCCM | |
| He | 7.9 mbar L/s 467 SCCM | 10.4 mbar L/s 615 SCCM | |
| Ar | 1.5 mbar L/s 89 SCCM | 3.3 mbar L/s 195 SCCM | |
| (*) 前级泵 11.6 m3/h | |||
| 压缩比与前级耐压关系* | |||
| N2 He H2 Ar | > 1E + 11 2E + 08 3E + 06 1E + 11 | 10 mbar 10 mbar 4 mbar 8.5 mbar | |
| (*) 前级耐压定义为，在水冷模式下，当涡轮泵仍能产生 100 的压缩比时的压力 | |||
| 采用推荐前级泵时的极限真空 | < 1 × 10-10 mbar (< 1 × 10-10 Torr) | ||
| 抽气口法兰 | ISO 200K，ISO 200F，ISO 250K， ISO 250F，CFF 10 英寸 | ||
| 前级管道法兰 | NW25 或 NW40 | ||
| 推荐的前级泵 | DS302 IDP10 IDP15 | ||
| 工作位置 | 任意 | ||
| 操作环境温度 | +5 °C 至 +35 °C | ||
| 润滑油 | 长期性脂润滑 | ||
| 冷却要求 | |||
| 风冷 | 空气温度由 +5 °C 至 35 °C | ||
| 水冷 | 水温由 +15 °C 至 +25 °C 水流速最低 100 L/h | ||
| 噪音压力级别 （全速运行时距离 1 m 处） | 43 dB(A) |
