SR-C 紧凑型高精度反射膜厚仪应用

一、概述

SR-C 紧凑型高精度反射膜厚仪，利用光学干涉原理，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。

■ 光学薄膜测量解决方案；

■ 非接触、非破坏测量；

■ 核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析；

■ 膜厚重复性测量精度：0.02nm

■ 配置灵活、支持定制化

二、产品特点

■ 采用高强度卤素灯光源，光谱覆盖深紫外到近红外范围；

■ 采用光机电高度整合一体化设计，体积小，操作简便；

■ 基于薄膜层上界面与下界面的反射光相干涉原理，轻松解析单层薄膜到多层；

■ 配置强大核心分析算法：FFT分析厚膜、曲线拟合分析法分析薄膜的物理参数信息；

三、产品应用 

反射膜厚仪广泛应用于各种介质保护膜、有机薄膜、无机薄膜、金属膜、涂层等薄膜测量。

四、技术参数

型号

基本功能

光谱范围

光谱分辨率

膜厚测量范围

测量时间

重复性测量精度

测量精度

样件台尺寸

光斑大小

SR-C

反射率、膜厚、n/k 等参数

380-1000nm(可扩展至190-1650nm)

<0.8nm@240-1000nm;<3.5nm@1000-1650nm

TL

0.02nm

0.2%或 2nm(取较大值)

标配6寸(可扩展 12 寸)

标准 1.5mm

重复精度指标仅针对100nm $i02 硅片 30 次重复测量