维修德国 SINGULUS 溅镀电源、美国 MKS/ENI 溅镀电源、ADVANCED ENERGY 、美国 AE 溅镀电源、RF 射频电源、DC 直流电源、AC 交流电源。更专业的技术，更迅速的响应高速增长的等离子体薄膜制造工艺之***电源的维修。

      为了快捷、正确的解决射频电源故障，帮助到亲解决烦恼。麻烦亲帮我了解清楚射频电源的具体故障，发故障报警代码，有故障代码的图片更好。比如：不能启动、上电无显示，还是运行一段时间才报，这个也是关键。

施耐德RF射频电源维修检测：

1、切断电源，让充电指示灯熄灭，然后检查顶部和底部母线之间的直接短路。
2、如果您有直接短路，请断开模块，直到短路消失。
3、如果没有直接短路，请按照以下步骤操作。
4、确保测量电源模块中的脚对脚和脚对地电压。
5、向电源的L1，L2和L3底部提供三相输入（400-480V AC脚对地和200-260V AC脚对地）。
6、向CX1A连接器提供200伏输入。
7、跳出进入PSM的CX3 / MCC电缆上三个引脚的顶部和底部引脚。
8、跳出PSM上CX4 / ESP E-Stop连接器的三个插针的顶部两个插针。
9、安装并拧紧直流母线上的所有螺钉。

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