EDX-T是天瑞仪器股份有限公司集30多年X荧光膜厚测量技术,研发的一款全新上照式X射线荧光分析仪,该款仪器配置嵌入集成式多准直孔、滤光片自动切换装置和双摄像头,不仅能展现测试部位的细节,也能呈现出高清广角视野;自动化的X/Y/Z轴的三维移动,实现对平面、凹凸、拐角、弧面等各种形态的样品进行快速对焦精准分析。能更好地满足半导体、芯片及PCB等行业的非接触微区镀层厚度测试需求。应用领域分析超薄镀层,如镀层≤0.01um的Au,Pd,Rh,Pt等镀层;测量超小样品,直径≤0.1mm印刷线路板上RoHS要求的痕量分析合金材料的成分分析以及电镀液分析测量电子工业或半导体工业中的功能性镀层设计亮点全新上照式设计,可适应更多异型微小样品的测试。可变焦高精双摄像头,搭配距离补正系统,呈现全高清广角视野,更好地满足微小产品、台阶、深槽、沉孔样品的测试需求。独立的高精度伺服电机扩大XY平台移动范围,可多点编程、网格编程、矩阵编程,自动完成客户多个产品及多个测试点的连续测量,大大提高测样效率。自带数据校正系统,保证测量数据的稳定性。