FUJI-US富士工业 多成分浓度计FUD-1 MODEL-53
时间:2024-10-09 阅读:243
测量原理4:
通过结合超声波传播速度和电导率来测量液体中 “3 种成分中 2 种成分的浓度”。超声波在溶液中传播的速度会受溶液的浓度和温度影响,该浓度计利用这一特性,再结合电导率测量,经过 CPU 演算处理得出浓度结果。
特点与优势:
标配模拟 DC4~20mA(2 系统)及数字 RS232C 输出信号,方便与其他设备进行连接和数据传输。
标配测量错误输出和报警输出,当测量结果超出设定的上下限或出现异常时,可及时发出警报。
具备自诊断功能和错误消息显示,方便用户快速排查和解决问题。
拥有输出范围设定、浓度显示移动平均、浓度显示偏移及增益设定、故障安全、异常值消除、温度时间常数校正等多种功能。
高精度测量:能够实现高精度的连续测量,测量结果准确可靠,可满足多种工业生产过程中对浓度精确控制的要求123。
免维护:仪器无需定期调整和校准,没有易磨损或老化的部件,减少了维护成本和工作量123。
易于安装:小型、轻质的单元式发射器可直接安装在生产线上,且安装时不需要进行复杂的调整,操作简便126。
实时输出与反馈:可实时输出测量结果,便于操作人员及时了解生产过程中的浓度变化,轻松实现对生产过程的反馈控制126。
多种功能配置125:
应用领域125:
在半导体制造工艺中,可用于 CMP 工序中的 CMP 浆料及氧化剂浓度管理、清洗过程中的清洗液浓度管理(如 HF+HNO₃、HF+H₂SiF₆等)、蚀刻过程中的蚀刻液浓度管理(如 TMAH + 抗蚀剂、TMAH+Si 等)。
适用于金属酸洗过程中的酸液浓度控制、化学工业中两种混合化学品的浓度控制等其他工业生产过程中的多成分浓度监测与管理。
规格参数156:
电源:AC100V 至 240V 50/60Hz,30VA(也可使用 DC24V)。
环境温度:转换器为 0~50°C,RH85% 以下(无冷凝);测量液体温度一般为 0~100°C,特殊规格为 - 10~160°C(100°C 宽度)。
显示:采用 LCD 显示屏,可显示浓度 1、浓度 2、温度、声速、电导率等各种参数。
输出信号:模拟 DC4~20mA 有 2 个系统(可根据浓度值自由设定),数字 RS232C 可输出浓度 1、浓度 2、声速、温度、电导率、错误代码等信息。
通道:高达 7 通道(校准曲线)。
发射器:有 SA-20S29 + 电导率计、SA-20S27 + 电导率计等示例,振动元件为 PZT(2MHz),测量元件为热敏电阻,接液部件材质采用 PFA 等,重量为 2.5kg,电缆专用电缆 6m,环境温度 5~45°C,耐压 0.3MPa,流量 5 升 / 分钟(推荐)。