规格

LIP 481 V

LIP 481 U

适用范围

高真空，高达10–7毫巴

超高真空，高达10–11毫巴

测量标准*

线膨胀系数

玻璃上的Diadur相位光栅或Zerodur玻璃陶瓷

玻璃：αTherm8·10–6 K–1；Zerodur玻璃陶瓷：αTherm0（0±0.1）x 10–6 K–1

精度等级*

± 1 µm, ± 0.5 µm

位置误差

在一个信号周期内

± 0.02 µm

测量长度ml*in mm

70 120 170 220 270 320 370 420

参考标记

一个在测量长度的中点

输出信号

  1 VPP

信号周期

2 µm

截止频率–3 dB

≥ 300 kHz

横移速度

36 m/min

电源

电流消耗

5 V DC ± 5%

< 190 mA

电气连接

D-Sub连接器（公）15针，接口电子元件集成在连接器中

外壳引线*（见第4页）

• •无（真空接口电子设备）
  •高真空兼容（真空外的接口电子设备）

D SUB（不包括在交付中，真空外部的接口电子设备）

扫描头至APE的电缆长度*

• •0.5 m或1 m
  •0.5 m或1 m至外壳引线，0.5 m至APE

距离外壳0.5 m或1 m，穿过外壳，距离APE 0.5 m

其他电缆长度，但扫描头和APE之间小于等于3 m

APE后电缆长度

≤ 20 m (带海德汉电缆)

振动55至2000赫兹

冲击11毫秒

≤ 200 m/s2 (EN 60 068-2-6)

≤ 500 m/s2 (EN 60 068-2-27)

工作温度

0 °C to 40 °C

烘烤温度

100 °C

120 °C

材料

PCB：陶瓷

粘合剂：超高压兼容，耐高温

重量扫描头

连接器

规模

连接电缆

50 g (无电缆)

32 g, 集成接口电子设备: 140 g

5.6 g + 0.2 g/mm 测量长度

38 g/m

*订购时请选择