海德汉公司的光学扫描光栅尺或编码器的 测量基准都是周期刻线－光栅。 这些光栅刻在玻璃或钢材基体上。大长度 测量用的光栅尺带的基体为钢带。 海德汉公司用特别开发的光刻工艺制造精 密光栅。 • AURODUR：在镀金钢带上蚀刻线条， 典型栅距40 µm • METALLUR：抗污染的镀金层金属线， 典型栅距20 µm • DIADUR：玻璃基体的超硬铬线（典型栅 距20 µm）或玻璃基体的三维铬线格栅 （典型栅距8 µm） • SUPRADUR相位光栅：光学三维平面格 栅线条；*抗污能力；典型栅距不超 过8 µm • OPTODUR相位光栅：光学三维平面格 栅线条，超高反光性能，典型栅距不超 过2 µm 这种方法除了能刻制栅距非常小的光栅 外，而且刻制的光栅线条边缘清晰、均 匀。再加上光电扫描法，这些边缘清晰的 刻线是输出高质量信号的关键。 母版光栅采用海德汉公司定制的精密刻线 机制造。

测量法是指编码器通电时就立即提供 位置值并随时供后续信号处理电子电路读 取。无需移动轴执行参考点回零操作。 位置信息来自圆光栅码盘，它由一系 列码组成。编码结构在每转中都一。 独立的增量刻轨用单场扫描原理读取和转 换成位置值。

ERO 6180海德汉角度编码器玻璃基体铬线光栅

ERO 6180 增量式角度编码器

• 结构紧凑

• 重量轻，转动惯量小

• 带读数头和圆光栅码盘/轮毂总成

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