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Micro-Vu 三坐标测量仪具有强大的功能性，可被广泛的应用在各种量测的需求的机构设计造就了高性能的速度与精度，前瞻性的机电整合技术，运用USB传输，简化了量仪与电脑的沟通InSpec for Windows 几何量测软件提供简易且人性化的接口，让量测、资料转换及报表输出变得容易操作与上手，提供免费升级的光源系统提升了寻边与自动对焦的辨识能力与功能。
Micro-Vu 三坐标测量仪规格参数：
基本规格 | Excel 664UM Excel 664UC |
测量体积 | 650×680×400mm |
外形尺寸 | 1311×1604×2088mm |
重量 | 1500kg |
容量 | 100kg |
床台材质 | 花岗岩 |
电源要求 | 93 - 264VAC,47 - 63Hz,10Amp |
X，Y轴准确度 | U= 3.5 +L/150μm |
Z轴准确度 | U= 3.8 +L/100μm |
X，Y加速 | 1000mm/s² |
Z加速 | 500mm/s² |
X，Y速度 | 150mm/s² |
光栅尺分辨率 | 0.1μm |
轮廓光，同轴光，表面光 | 红光LED技术（黑白机种使用） 白光LED技术（彩色机种使用） |
光学镜头/倍率范围 | 12 * Opucal/2.5 * Digital Programmable Zoom/15x-1200x |
环境 | 20℃（680F）± 20,30-80％Humidity |
