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ES640充电器件模型（CDM）测试系统介绍：
1.描述
充电器件模型（CDM）静电放电是微电子电路故障的常见原因。较低电压下的CDM放电会严重损坏或损毁灵敏设备。当带静电的设备以不同的电位接触金属表面时，通常会发生这种情况。这种静电放电通常具有非常快的上升时间。
ES640是一款自动化的CDM测试仪，可满足所有流行的CDM测试方法，支持场感应空气放电方法（FICDM）和接触放电（LI-CCDM、CC-TLP、RP-CCDM）方法。本测试系统包含计算机、环境控制室、精确的XYZ运动控制系统、不同类型的CDM测试仪头以及自动测试和数据分析软件。
以下是ESDEMC ES640 CDM解决方案与其他解决方案的比较，包括Thermo Scientific Orion3 CDM测试仪、Hanwa HED-C5000R等。
2.特点
高分辨率摄像头（可多达3个）可轻松进行引脚对齐操作
高分辨率运动控制系统（步长低至1µm）
允许批量测试多个设备
正在申请的CCDM方法具有更好的可重复性
密闭的环境室提高了干燥单元的效率
支持再生干燥单元（无需氮气）
3.应用
用于封装和晶圆级测试的通用CDM系统
支持许多流行的最新CDM方法：
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002(FICDM)
AEC Q100-011 Rev-D (遵循JS-002)
AEC Q101-005 Rev-A (遵循 JS-002)
ANSI/ESD SP5.3.3 (LI-CCDM，需要vf-TLP)
CC-TLP (待批准的ESDA SP，需要vf-TLP)
我司申请中的RP-CCDM方法
可根据客户要求提供已停用或定制的解决方案
机器人带电板模型(CBM）和平板ESD测试可自定义尺寸
4.规格
参数 | ES640-150 | ES640-300 | 单位 | 备注 | |||
最大XY测试面积 | ≥150X150 | ≥300X300 | mm | 探针移动面积，可定制 | |||
最大DUT面积 | 160X160 | 375X425 | mm | ||||
充电板面积 | 210X210 | 395X470 | mm | ||||
Z行程 | ≥50 | ≥150 | mm | ||||
最小X, Y, Z步长 | 100 | nm | |||||
复位重复能力 | ≤±6 | μm | |||||
测试电压范围 | ±1至2000或4000 | V | 默认2000V，可定制 | ||||
测试电压阶跃 | 1 | V | |||||
测试电压精度 | ±1%±0.1V | %V | |||||
XY视野分辨率 | 1920X1080 | 像素 | |||||
垂直视野分辨率 | 2592X1944 | 像素 | |||||
运行温度 | 10至40 | °C | |||||
运行湿度(RH) | 10至80 | % | |||||
电压 | 120-240VAC，50/60Hz | VAC | |||||
N2或CDA压强 | 10–120 | PSI | |||||
N2或CDA峰值用量 | 0.2 | cfm | 或0.34m3h | ||||
300 N2箱平均用量 | ~19 | 小时 | 持续的@40RH环境 | ||||
干燥剂平均用量 | ~24 | 小时 | 持续的@40RH环境 | ||||
5.订购信息
编号 | 型号 | 描述 |
ES640带电器件模型（CDM）测试系统 | ||
1.1 | ES640-150 | 通用CDM平台，150X150mm测试区域，2kV |
1.2 | ES640-300 | 通用CDM平台，300X300mm测试区域，2kV |
1.3 | ES640-HC | 用于空气放电方法的湿度调节单元 (用户可重复使用干燥剂，比N2或CDA的使用成本更低) |
1.4 | ES640-CV4 | 放电电压从2kV提升到4kV |
1.5 | ES640-CPC | 场板定制，用于固定200X300DUT |
1.6 | ES640-VP1 | 用于固定DUT的真空泵 (可选，软件控制) |
1.7 | ES640-VP2 | 高压尖部清洁单元(可选，软件控制) |
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018标准相关配置( 包括AEC_Q100-011D，AEC_Q101-005A在内均遵循此标准) | ||
2.1 | ES640-JS002 | JS002放电单元 |
2.2 | ES640-JS002-C | JS002/C101校准盘(小盘和大盘) |
2.3 | ES640-JS002-P1 | JS002可替代Pogo Pin #1 (直径0.35mm) |
已停用的AEC标准相关配置(不推荐用于新设计)ES640充电器件模型（CDM）测试系统 | ||
