ADL直流溅射电源

　　直流溅射电源GS 05 - GS 30

　　紧凑型设备已开发用于生产和实验室设施中较小的磁子。由于操作简单安全，电源可以非常灵活地使用。

　　弧形处理自动适应不同的过程参数，因此无需编程工作。这些设备设计用于安装在 19" 组件中。

　　输出功率0.5-3.0kW

　　空气 1/2 19" 内置住房， 3R

　　可互换接口模块

　　电压、电流和电源的数字显示屏

　　通过前面板手动操作

　　自动弧形处理

　　直流溅射电源GS 60–GS 150

　　GS 60 – GS 150 系列的气冷直流电源有三种操作变种：主动前面板、被动前面板和状态 LED。电源可在不限制切换时间的情况下全额定功率运行。

　　几个模块的并行操作是可能的。GS 60–GS 150系列，像所有ADL电源一样，具有极快的自动弧线取消。设备的操作非常简单和安全。

　　输出功率 6.0 - 15kW

　　空气

　　19" 内置住房， 3U

　　无潜力输出

　　焦耳时尚

　　自动弧形处理

　　直流溅射电源GSW 100–GSW 300

　　可同时运行至240kW，可增加输出功率。有了特殊的电路概念，"主奴隶布线"可以免除。即使在非空调客房，高效的水冷却也可确保的可靠性。

　　这些设备可以通过活动前面板或界面手动操作。提供各种前面板和接口模块。极快的弧形处理*自动工作，即使在并行操作中也不需要外部同步。

　　输出功率10-30kW

　　水冷却

　　19"住房， 3 U

　　电磁阀控制

　　无潜力输出

　　并行运行至240kW

　　自动弧形处理

　　直流溅射电源GX 50–GX 150

　　GX 溅射电源能够自动擦除高达每秒 80，000 个弧。性能，加上小尺寸，是GX系列的突出标志。

　　这些设备可以全额定功率运行，不受切换时间的限制，也可以并行连接。

　　输出功率5-15kW

　　水冷却

　　1/2 19" 住房， 3U

　　无潜力输出

　　焦耳时尚

　　自动弧形处理

　　直流溅射电源 HX 150 - HX 300

　　1/2 19"宽度和5U的极其紧凑的设计是专门为生产工厂开发的，其中将不配用控制柜。HX 具有安装选项卡，可直接集成到任何安装位置的系统中。

　　显示屏是旋转的，可以从设备中分离出来。即使在非空调客房，高效的水冷却也可确保的可靠性。为了避免凝结，可以通过集成温度控制连接外部电磁阀。

　　可同时运行至240kW，可增加输出功率。特殊的电路概念允许主奴隶操作和并行控制通过界面组合或Provibus。极快的弧形处理*自动工作，因此无需设置参数。

　　输出功率 15kW 至 30kW

　　并行运行至240kW

　　水冷却

　　电磁阀控制

　　带灰尘颗粒分离器的住房通风

　　1/219" 住房， 5U

　　法兰格紧固件

　　M8 女线起重机小眼

　　可拆卸旋转显示屏

　　自动弧形处理

　　离子源电源

　　对于离子源(考夫曼和ECR)的操作，提供各种特殊设备，也可以根据要求提供其他输出电压或服务。

　　所有设备均可选择配备模拟接口或与 Profibus 连接。

　　脉冲发生器、选项和配件

　　PULSE 发电机 RD 300 与大多数 ADL 电源一起，按照共振开关原理工作。由于效率*(30kW时为99.5%)，该设备非常紧凑，只能产生150W的低耗电量。

　　现有系统可以很容易地进行改装，因为发电机与直流电源并行直接连接到阴极。该设备的工作频率为 2kHz。但是，使用外部信号发生器，频率可在 0.2 到 3kHz 之间变化。几个发电机可以通过控制线进行自动同步连接。

　　单极脉冲发生器 SD 30、SD 150 和 SD 300

　　脉冲发生器与ADL直流电源一起生成单极脉冲。这些设备的固定频率为 20kHz。使用外部信号发生器，频率变化范围从 1kHz 到 40kHz 不等。发电机具有自动电弧抑制。

　　行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程。几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。

　　输出功率 3 千瓦，15 千瓦，30 千瓦

　　并行运行至240千瓦

　　自动弧形处理

　　无潜力输出

　　自动同步

　　空气

　　非常紧凑的设计

　　法兰格紧固件

　　中频和双极脉冲发生器 SB 300

　　双极脉冲发生器 SB 300 既可用作中频发生器，以生成平衡交替电流，也可用于非对称方脉冲的双极脉冲器。通过特殊的功率商控制，双磁子的目标寿命可以精确对称。

　　两种不同的目标材料也可以用不对称的脉冲能力进行控制。Qotienten 控制器通过脉冲宽度调制 (PWM) 自动设置脉冲时间。该设备的固定频率为 20kHz。发电机具有自动电弧抑制。

　　行程级别和中断时间的参数会自动适应相应的过程。不需要用户通常的编程!几个发电机可以通过控制线进行同步连接。设备自动切换到外部同步。

　　输出功率 30kW，交流电

　　主/奴隶或并行操作中的设备组合，可达 240kW

　　比率功率控制器

　　自动同步

　　水冷却

　　非常紧凑的设计

　　无潜力输出

　　模块化系统允许 HX (DC) 与单极脉冲发生器 (SD) 或双极脉冲发生器 (SB) 的组合

　　紧凑型 1/2 19" 设计

　　双极脉冲发生器与PWM控制保证对称溅射!

　　超高速和全自动弧形管理

　　过程可重复性：优于 1-2%

ADL直流溅射电源