操作要求：

    1.分子泵的气体回路接口的快速连接法兰的螺钉应朝上，以防止松弛引起的空气泄漏；

    2.不能在大气中打开，必须在达到10Pa时打开。打开相应的高压阀以启动分子泵；

    3.当M2或M7的真空度始终没有到位时，请检查旋片泵的电磁阀是否正常工作；

    4.打开莱宝分子泵机组之前，必须先打开冷却水阀。叶轮停止后，必须关闭冷却水阀；

    5.每次停机后，必须清洗每个分子泵的入口，以保持其清洁，以避免不必要的损坏；

    6.当出现警告信息“EF”时，检查冷却水通道是否畅通，并用机枪进行检查。在再次打开之前，请确保水路畅通。当出现其他报警信号时，严禁再次启动分子泵进行后处理。

    7.当分子泵出现故障无法使用时，应暂停生产，并在手动充满空气后更换备用分子泵；

    8.当分子泵未启动时，检查前级泵和电磁阀是否正常工作；

    9.当莱宝分子泵机组发生故障时，必须根据故障提示进行处理。