日立扫描电镜作为商用电镜面世以来迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器，被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。它的制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大、保真度高、有真实的三维效应等，对于导电材料，可直接放入样品室进行分析，对于导电性差或绝缘的样品则需要喷镀导电层。

　　今天小编要与大家分享的是日立扫描电镜的盲点知识：

　　1、扫描式显微镜有一重要特色是具有超大的景深，约为光学显微镜的300倍，使得扫描式显微镜比光学显微镜更适合观察表面起伏程度较大的样品。

　　2、其系统设计由上而下，由电子枪发射电子束，经过一组磁透镜聚焦聚焦后，用遮蔽孔径选择电子束的尺寸后，通过一组控制电子束的扫描线圈，再透过物镜聚焦，打在样品上，在样品的上侧装有讯号接收器，用以择取二次电子或背向散射电子成像。

　　3、电子枪的必要特性是亮度要高、电子能量散布要小，目前常用的种类计有三种，钨灯丝、六硼化镧灯丝、场发射，不同的灯丝在电子源大小、电流量、电流稳定度及电子源寿命等均有差异。

　　4、热游离方式电子枪有钨灯丝及六硼化镧灯丝两种，它是利用高温使电子具有足够的能量去克服电子枪材料的功函数能障而逃离。对发射电流密度有重大影响的变量是温度和功函数，但因操作电子枪时均希望能以低的温度来操作，以减少材料的挥发，所以在操作温度不提高的状况下，就需采用低功函数的材料来提高发射电流密度。