三维形貌仪是一种科学仪器，是用来侦测并分析现实世界中物体或环境的形状(几何构造)与外观数据(如颜色、表面反照率等性质)。可分为接触式、非接触式、激光等类型。

　　三维形貌仪的应用有三维表面轮廓测量、粗糙度测量、膜的台阶高度测量、空间分析和表面纹理表征、曲率测量、二维薄膜应力测量、表面质量和缺陷检测等。

　　本产品适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。多项式配置、数据配置、扫描、屏蔽和插值，交互缩放，X-Y和线段剖面，三维线路、混合和固定绘图，用于阶越高度测量的地区差异绘图。

　　三维表面形貌仪技术特点：

　　1、每秒一百万张二维图像

　　2、无损表面形貌检测和分析

　　3、高精度在线/离线检测

　　4、模块化设计，超高集成灵活性

　　5、无需苛刻的工作环境(振动，噪声，温度等)

　　6、可应用于科研和工业领域

　　三维表面形貌仪应用领域：

　　工业：

　　食品安全在线检测

　　微电子集成电路表面形貌在线检测

　　印刷电路板品质检测

　　零件器件表面划痕损伤检测

　　微机械精加工质量控制，如钟表，微机械器件等

　　电子产品零件在线监控，如手机，笔记本电脑，平板等

　　微流体器件三维形貌检测

　　在线检测设备集成

　　证件防伪，安检

　　科研：

　　MEMS器件

　　微机械零件表面形貌观察和测量

　　微光学器件(太赫兹、红外、微波、天线阵列)三维形貌表征

　　生命科学：生物组织/生物体的 三维形貌测量