ICP光谱仪工作原理：射频发生器产生的高频功率通过感应工作线圈加到三层同心石英炬管上，形成高频振荡电磁场；在石英炬管的外层通入氩气，并进行高压放电产生带电粒子，带电粒子在高频电磁场中往复运动与其他氩原子碰撞，产生更多的带电粒子，同时温度升高，终形成氩气等离子体，等离子体的温度可达6000K～8000K。待测水溶液试样通过雾化器形成的气溶胶进入石英炬管中心通道，在高温环境下受到激发，发射出溶液中所含元素的特征谱线；通过对等离子体光源进行采光，并利用扫描分光器进行扫描分光，将待测元素的特征谱线光强准确定位于出口狭缝处，利用光电倍增管将该谱线光强转变成光电流，再经电路处理和模数变换后，进入计算机进行数据处理。

　　

　　ICP光谱仪应用很广，在农业、天文、汽车、生物、化学、镀膜、色度计量、环境检测、薄膜工业、食品、印刷、造纸、拉曼光谱、半导体工业、成分检测、颜色混合及匹配、生物医学应用、荧光测量、宝石成分检测、氧浓度传感器、真空室镀膜过程监控、薄膜厚度测量、LED测量、发射光谱测量、紫外/可见吸收光谱测量、颜色测量等领域应用广泛。

　　

　　ICP光谱仪的分析过程主要分为三步，分别为激发、分光和检测。

　　

　　1、利用等离子体激发光源使试样蒸发气化，离解或分解为原子状态，原子可能进一步电离成离子状态，原子及离子在光源中激发发光。

　　

　　2、利用光谱仪器将光源发射的光分解为按波长排列的光谱。

　　

　　3、利用光电器件检测光谱，按测定得到的光谱波长对试样进行定性分析，按发射光强度进行定量分析。