艾里卡特气体质量流量控制器快速、精准地确定稳定的流量。与任何其它产品相比，我们的质量流量控制器能够更快地到达其设定值，使其能够抑制管线压力波动，因而不会影响您的过程下游。定制化阀门选配项和出厂PID调节能确保您的MFC在具体应用中具备良好性能。

基于压力的质量流量仪表的性能：

在大多数流量仪表上0.6%的读数精度

• 4 ms响应时间
• 无需预热
• 四个过程变量
• 内置的显示
• 工业协议
• 压力补偿
• 温度补偿
• 宽动态流量范围

*详细规格见产品说明书*

MC系列气体质量流量控制器是我们的标准质量流量控制器，其型号众多，可测量高达5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。

若管线压力较高（145-305 psig），请选择MCQ系列气体质量流量控制器。

MCW系列气体质量流量控制器适用于低压损应用环境、泄漏测试，也能缩短50 scccm或更低流速条件下的气动响应时间。

若您需要现有热式质量流量控制器的简易替换件，MCE系列气体质量流量控制器将阀门置于内部，使其工艺连接件与SEMI标准长度相符。

对于真用应用，MCV系列气体质量流量控制器是在MCE系列的基础上另增加一气动截止阀。

BASIS系列气体质量流量控制器是艾里卡特的紧凑型质量流量控制器系列，专门设计用于OEM应用和大量订单环境。