Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器
对于大数额订单,Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商(OEM)无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特*的快速阀门控制。
·可靠。Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望,NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像第一天一样。
·灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有控制速度和阀门调节,能带给用户的益处将远远超出预期。
·兼容。Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广,轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。
性能
·可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(参见零件编号标签)
·可调比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
·校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)
·可重复性:0.5%满量程
·标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)
·预热时间:70ms,达到完整精度
工作条件
·兼容气体:空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮(可通过串行连接选择气体);订购时还可以选择氦气或氢气校准(仅使用一种气体)
·工作温度:0°C至+50°C
·大内部压力(静态):对于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);对于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
·耐受压力:175 psig(190 psia)
·STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)