Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器

视频简介

对于大数额订单,Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器能为用户提供可重复、可靠、经济的气体流量控制方案。专为原始设备制造商(OEM)无应力设备集成而设计的BASIS轻便灵巧、内置高精度MEMS传感器、并具有艾里卡特*的快速阀门控制。

·可靠。Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器绝不会让您感到失望,NIST可溯源的精度与重复性使其在工作第700天时仍像第一天一样。

·灵敏。您不会再因为压力峰值而毁了一整天。Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器具有控制速度和阀门调节,能带给用户的益处将远远超出预期。

·兼容。Alicat BASIS系列OEM气体质量流量控制器应用范围相当广,轻便灵巧、多气体标定、模拟及数字双重通讯将为您的项目设计提供更大的灵活性。

性能

·可用量程:0-100 sccm0-1000 sccm0-20 slpm 0-50 slpm(参见零件编号标签)

·可调比:200:11/2050 slpm)或100:1100 sccm

·校准精度(NIST可溯源):±(1.5%读数+0.5%满量程)

·可重复性:0.5%满量程

·标准控制器响应时间常数:100ms(可利用PID调节功能调节)

·预热时间:70ms,达到完整精度

工作条件

·兼容气体:空气、氩气、二氧化碳、氮气、氧气、一氧化二氮(可通过串行连接选择气体);订购时还可以选择氦气或氢气校准(仅使用一种气体)

·工作温度:0°C+50°C

·大内部压力(静态):对于0-1000-1000 sccm量程—145 psig160 psia);对于0-200-50 slpm量程—60 psig75 psia

·耐受压力:175 psig190 psia

·STP 25°C & 1 atm14.696 psia

提示

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