XDS10/XDS5爱德华涡旋泵密封包详细介绍

XDS10/XDS5是爱德华老款涡旋泵密封包有密封圈，O型圈，气镇阀包

Edwards XDS 和 nXDS 系列干式涡旋泵

Edwards 干式涡旋泵为各种应用提供成熟的干式清洁真空解决方案。

当需要无油抽空时，涡旋泵是旋片泵的替代品。

Edwards XDS35i 干式涡旋泵

Edwards XDS35i 干式涡旋泵

轴承护罩

确保制程气体和轴承润滑分离，以保证清洁真空并使润滑不被制程气体污染，从而延长轴承使用寿命。

智能电机驱动

意味着全程稳定的性能、泵过载保护和远程启动/停止功能。

高流速气囊功能

允许泵送蒸汽，包括高达 240 gh-1 的水蒸汽

简便的单侧涡旋设计

可在数分钟内完成维护，以降低拥有成本并程度延长正常运行时间。

更进一步

增强型在初始抽空期间可减少多达 20％ 的峰值电力需求，这意味着它能够在不损失性能的情况下抽空大容量腔室，且在该粗抽压力下抽取速度可提高达 25％，这也有助于提高应用循环频率。

XDS 干式涡旋泵

在干泵真空领域，XDS 干式涡旋泵已成为行业标准，在广泛的应用中被证明是一种坚固耐用且清洁的真空泵解决方

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