其中，icp发光光谱法是根据处于激发状态测定对象元素的原子返回基态时放射的特征谱线分析测定对象元素的方法，在分析过程中分析检测材料的光谱特性(包括波长、强度等光谱特性)，因此可以分为三个工艺：
 

　　1、分光(光栅)是将被检材料按波长有规律地划分。

　　2、受光(传感器)将光信号转换为电信号，通过相应的测量分析各波长的光的强度。

　　3、光谱软件计算显示：用软件计算分析这些信息，并向操作员显示相应的结果。

　　ICP光谱仪和其他大型精密仪器一样，需要在特定的操作环境下操作，对环境温度和湿度有一定的要求。 检测室内的温度维持在70到75℃之间，尽量维持在一定的温度。

　　除了保持实验室温湿度条件外，尽量减少实验室灰尘对ICP设备的维护也非常重要。 ICP设备室一般没有防尘过滤设施，另外，由于使用排气扇排除设备的热量及其产生的有毒气体，设备室和外部成为压力差而产生负压，室外含有大量尘埃的空气流入室内，设备的各部分容易蓄积尘埃，高压部件和配线的短路、漏电等。