白光干涉仪为非接触式测量，避免物件受损。多重视野镜片方便物镜的快速切换。纳米级垂直分辨率可以达到0.1nm。高速数字信号处理器实现测量仅需要几秒钟。扫描仪采用闭环控制系统。测量软件基于windows操作系统的用户界面，强大而快速的运算。

　　白光干涉仪的精度选择：

　　精度高的白光干涉仪是较好的白光干涉仪。为什么这么说并非白光干涉仪的其他功用不重要，咱们知道任何一款电子衡器其构成结构多大同小异的，而许多产品不同只是用材的差异性，并非技能型的差异性。但精度这个不是单独用材就能够处理的，它是一款白光干涉仪的规范，因而也决定其价格。

　　白光干涉仪的稳定性：

　　一个白光干涉仪不把稳定性放在主要位置，那并不代表稳定性不重要，只能说先要满足精度灵敏度后，那么这个稳定性才具有意义。一旦精度灵敏度都满足了，那么稳定性也是举足轻重的地位了。它们常常会使得试验进程中减少了无数的烦恼、数据差错等，测量成果也因而减少了累计差错，然后防止了最终演变数据出错。