表面轮廓仪测量具有非破坏性，测量速度快，准确度高，测量范围广，可测透明、金属材料，半透明、高漫反射，低反射率、抛光、粗糙材料(金属、玻璃、木头、合成材料、光学材料、塑料、涂层、涂料、漆、纸、皮肤、头发、牙齿)，尤其适合测量高坡度高曲折度的材料表面，不受样品反射率、环境光的影响，测量简单，样品无需特殊处理。

　　传统意义上，表面轮廓仪被用来测量样品的表面特性。但在测量过程中，所测量的样品需保持在静止的状态下，如果样品不稳定或者处于运动状态则会引起图像混乱模糊、数据不完整或者数据丢失等现象。然而对于MEMS设备，需要确定该设备处于运动状态时的形貌特征，了解和确定其在运动状态下的功能和特征对研发和生产质量控制至关重要，作为质量检验，只有动态测量才可以真正模拟MEMS实际运行状态，从而达到正真的功能检测。

　　表面轮廓仪即可实现这一测量功能，运用动态测量模块可以形成一个动态测量体系。一个频闪的LED光源同步于MEMS设备的触发信号，通过调整光源的频闪频率，其MEMS设备的运动被有效“静止”。实现光学轮廓仪在动态设备上进行测量。