位移台的参数解析

1.分辨率（最小位移）：位移台的位移量，比如位移台最小位移是5mm，那么如果输入一个1mm的运动量时，位移台无法运动

2.单向定位精度：也称定位精度或绝对定位精度，指的是从基准点开始，沿一方向、以一定间隔、在全行程内依次进行定位，分别计算各个定位点上的实测值与理论值之差，将差值作为单向定位精度。

3.重复精度：指的是从基准点开始，沿同一方向，向某一位置反复定位多次，分别计算每次的实测值与理论值之差，将最大差值作为重复定位精度

4.正交性：沿X轴方向移动，在Y轴上位移不变，X，Y轴位移量乘积为0，就是正交，如果产生偏移，则偏移的角度叫做正交性

5.负载能力：位移台面的中央可承受的、可以以最大速度驱动的重量值。分为水平负载、竖直负载和倒置负载，分别指台面水平、竖直和倒置放置时的负载。

6.平面度：位移台台面不同位置处的高低差，将差值作为平行度。台面静止时，在台面内取若干测试位置，分别测试其距基准平面的距离，其中差为静态平行度。

7.速度：单位时间位移改变量

8.加速度：单位时间速度变化量

其他参数解析：

线性行程、分辨率、精度常用单位：厘米（cm）、毫米（mm） 、微米（μm） 、纳米（nm） 

换算：0.1cm=1mm=1000μm=1000000nm

角度行程、分辨率、精度常用单位：度（°）、毫度（m°）、毫弧度（mrad）、微弧度（μrad）、角分（arcmin）、角秒（arcsec）

换算：1°=60arcmin=3600arcsec=π/180(0.0174533)rad=17.4533mrad=1745.33urad

负载常用单位：克（g）、千克（kg）、牛（N）

换算：1kg=1000g=9.8N