Entegris FV-50DI扩散器WG3D50DR2优势简介

功能和优点

烧结镍技术

在一个紧凑的扩散器单元中

提供的性能

在所有应用中

去除大于

距离进气0.0015µm

最小化晶圆上的缺陷

易于安装/改装到

现有工具

最大限度地减少停机时间（包括

加载锁室，冷却

钱伯斯，转移钱伯斯

（和工艺室）

制造、测试和测试

包装在洁净室

确保产品的清洁度

安装时间

快速排气，温和流动

大气

减少循环时间，增加

吞吐量和OEE

额定循环次数为100000次

换衣服之前

稳健高效

尚伯加德™

快速排气扩散器

减少空气中的颗粒和排气时间

负载锁定和传输室

尚伯加德™ 快速排气扩散器是可靠排气的选择

通过最小化负载锁定通风循环来提高系统吞吐量

时间这些扩散器向大气快速排气

无需干扰或向腔室中的晶片添加颗粒。

它们结合了扩散器的流动特性和高流动性

高效过滤器可提高效率和吞吐量

IOVENZANA 速优源品质PL005021

 速优源品质

Italvibras 速优源品质MVSI3/800-S020.65KW 380V 3000HZ 0.09mm

TOSRAKOVNIK 速优源品质TR1-04T-1 

EMG Automation 速优源品质EB800-60 II NR.199308

PHOENIX CONTACT 速优源品质TYP DEK1.5 DEK-REL-24/1/1 Art.Nr.:2940171

JAQUET 速优源品质1810.00S1TV

 速优源品质

ODE 速优源品质BDV08230AY

JETTER 速优源品质JL3-0250-25-3RVBS-A

 速优源品质

SCHRACK 速优源品质ZR 058290

 速优源品质

 速优源品质

voss 速优源品质G1/8 17 84 22 20 00 

Gneuss 速优源品质MT102B50Z004800 DAI-2E2-12A-B50Z-S0-F5-R-W-6P

 速优源品质

PCH 速优源品质PCH 1270/CHF8004

ENGLER 速优源品质ANM-25.305.2,5

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