INFICON技术资料BPG402-SE真空计

真空计是测量真空系统中气体压强的仪器,种类很多,这里介绍的复合真空计是常见的一种,复合真空计是由温差电偶真空计与热阴极电离真空计组合而成。下面给大家简单介绍下各类各类真空计原理。

 一、温差电偶真空计的原理，温差电偶真空规管由玻璃制成,通过小管8和真空系统相接,如图2所示,在规管内的两根引线上装有热丝3,另外两根引线上焊着一对温差电偶4,温差电偶的另一端与热丝在A点焊接。由于在低压下,气体的热传导系数与压强成正比,所以在通过热丝的电流(90～150mA)一定的条件下,热丝的温度随着规管内真空度的提高而升高,温差电偶电动势也就随之而增大。因此,通过测量温差电偶电动势,就可确定出被测系统的真空度,温差电偶真空计就是根据这个原理制成的。

 二、热阴极电离真空计的原理:电离真空规管就是一只三极管,通过B管与真空系统相接,使用时,在灯丝电路中通以电流5mA,灯丝受热后便发射电子,由于栅极为正电压,使电子加速,中途与气体分子相碰,气体的密度越大,碰撞机会越大,产生的正离子也越多。另外,由于板极电压为负,便吸引正离子在板极电路中形成板极电流Ip,气体分子密度越大(即压强越大),板极电流也越大,反之就小。所以,通过测量板极电流便可以确定气体的压强,热阴极电离真空计就是根据这个原理制成的。

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