冷水机在真空系统及真空镀膜机上的应用

一：冷水机在真空镀膜工艺中有什么作用？

真空镀膜工作原理是：膜体在高温下蒸发落在工件表面结晶。由于空气对蒸发的膜体分子会产生阻力造成碰撞使结晶体变得粗糙无光，所以必须在高真空下才能使结晶体细密光亮，果如真空度不高结晶体就会失去光泽结合力也很差。早期真空镀膜是依靠蒸发体自然散射，结合差工效低光泽差。现在加上中频磁控溅射靶用磁控射靶将膜体的蒸发分子在电场的作用下加速轰击靶材，溅射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉积在基片上成膜，解决了过去自然蒸发无法加工的膜体品种，如镀钛镀锆等等。

中频设备必须加冷却水，原因是它的频率高电流大。电流在导体流动时有一个集肤效应，电荷会聚集在电导有表面积，这样使电导发热所以采用中孔管做导体中间加水冷却。 磁控溅射靶在发射时会产生高温会使射枪变形，所以它有一个水套来冷却射枪。同时还有一个重要原因磁控溅射可以被认为是镀膜技术中的成就之一。它以溅射率高、基片温升低、膜 - 基结合力好

二：冷水机成部分和部件

     真空镀膜膜设备配备冷水机是为了达到高效率、高精度控制温度的目的以保证镀件的高质量，增加镀件的密度和平滑，缩短电镀周期，提高生产效率和改善产品的质量。

      真空镀膜设备专用的冷水机主要组成有：压缩机，贮液器，干燥过滤器，热力膨胀阀，蒸发器，制冷剂，冷凝器。

      压缩机是心脏，冷水机制冷系统通过压缩机输入电能，将热量冲低温环境排放到高温环境，制冷压缩机决定整个系统的效率。

      贮液器安装在冷凝器后面，于冷凝器的排液管直接连通，贮液器起到调剂和贮存制冷剂的作用。

      冷凝器可分为三类：风冷式冷凝器、蒸发式冷凝器和水冷式冷凝器，冷凝器起着输出热能并使制冷剂得以冷凝的作用。

      干燥过滤器预防制冷轮回中水分和污染物等的进入导致影响制冷装置的正常使用。

      热力膨胀阀安装在干燥过滤器和蒸发器之间，主要作用使使高温的制冷剂液体节流降压变为低温抵押湿蒸汽进入蒸发器从而达到制冷降温的作用。

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