低温管式气氛炉以电阻丝为加热元件，采用双层壳体结构和30 段程序控 温系统，移相触发、可控硅控制，炉膛采用日本三菱氧化铝 多晶纤维材料，炉膛分为上下两个半圆，需要急 速冷却或换管子时，可以打开炉膛，双层炉壳间 配有风冷系统，能快速升降温，该炉具有温场均衡、表面温度低、升降温速率快、节能等优点，是高校、科研院所、工矿 企业做高温气氛烧结、气氛还原、CVD 实验、真空退火用的理想产品。

一、产品应用

低温单温区系列管式炉系周期作业，供企业、院校、研究机构等单位选用。

设备为用户提供具有真空、可控气氛及高温的实验环境，应用在半导体、纳米技

术、碳纤维等新材料新工艺领域。

二、产品特点

气路连接方式采用了快速连接法兰结构。

取放物料过程简化，只需一支卡箍便可完成气路连接，方便操作。

取消了复杂的法兰安装过程，减少了炉管因安装造成损坏的可能。

采用双层壳体结构，内层为不锈钢结构，外壳为碳钢。

加热炉膛由上下两部分组成，其中上部炉膛可整体向后翻转110°，方便取放、观察实验物料，炉膛材料采用进口高纯氧化铝多晶体纤维材料制成，节能50%，温场均匀。

加热元件采用高电阻合金丝OCr27Al7Mo2，电阻丝位于炉膛四周，温度均匀性高，温场效果较好。 

采用石英管、两端用不锈钢法兰密封。

采用K型热电偶测温，测温准备。

双层炉壳间配有风冷系统，能使炉体表面快速降温，炉壳表面温度小于60度。

​三、低温管式气氛炉技术参数