菲佐干涉仪是最灵活的干涉仪，可通过非接触配置测量平面和球面。它的参考光路和测量光路相同，因此是一种结构紧凑、抗震的系统。Fizeau Interferometer与Fabry-Perot interferometer相似，都由两个反射面组成。不过，在菲佐干涉仪中，第二个表面通常是全反射的。角度分束器捕捉参考光束和测量光束。

Holmarc 菲佐干涉仪采用开放式垂直配置。它适用于平面和球面的常规测量。光源采用 DPSS 激光器。垂直方向的光学布局便于放置测试元件。CCD 摄像机捕捉到的条纹由计算机进行分析。该设备既可用于生产过程中的光学质量控制，也可用于实验室的常规检测。

                                                                                                                      功能

可进行高精度平面度测量

使用静态条纹分析软件

仪器采用直立式结构，便于固定测试样品

使用高质量的像差校正光学元件

                                                                                                                      规格

样品尺寸：≤ 100 毫米

参考平面：λ/20 P V 直径 100 mm 厚度 25 mm

精度：≤ λ / 20 PV

激光源：DPSS 5.0 mW 532 nm

校准：通过 倾斜样品底座

摄像头：CCD 1280 x 1024 分辨率

分析：使用 条纹分析软件

重量：约 25 千克

电源：220 伏 ，50 赫兹

                                                                                                                  包括的组件

532nm (5 mW) DPSS 激光源、

空间滤波器组件

分光镜

带支架的准直透镜

带支架的参考平面

测试平面支架

带 CCD 等的变焦镜头