HO-AMS-DE01 测量系统配备了双成像系统，用于快速测量。成像系统 1 配备了用于大面积成像的低倍率镜头，成像系统 2 则配备了用于高倍率成像的长工作距离显微镜物镜。成像系统 1 只需 4 幅图像即可捕捉到 200mm*100mm 的样品区域。高精度 XY 电动平台配有线性编码器，并将使用 DRO 显示编码器的反馈信息。带自动对焦算法的电动 Z 聚焦平台用于样品聚焦。除了双摄像头系统外，还配备了双目观察装置，用于对样品进行目视检查。

                                                                                              规格

测量精度 (3 + 0.03L) µm。L 是测量长度，单位毫米

读数分辨率 1 µm（带 DRO 的线性编码器）

观察头 Siedentopf 三目观察头，30 度倾斜，45-75 IP

观察方法 明视野（双成像系统）

目镜 10 倍宽视野，FN 20，屈光度可调

照明 1. 垂直反射 LED 照明（外显微镜），强度可调 2.

2. 倾斜 LED 照明，强度可调

                                                                                           选配

1. LWD Plan Apo 10 倍显微镜物镜

NA: 0 .30

工作距离：34 毫米

目镜视场角：2 毫米

相机视场角：0 .655 毫米 x 0.492 毫米

2. LWD Plan Apo 20X 显微镜物镜

NA: 0 .35

工作距离：29 毫米

目镜视场角：1 毫米

照相机视场角：0 .327 毫米 x 0.214 毫米

3. LWD Plan Apo 50X 显微镜物镜

NA: 0 .50

工作距离：17 毫米

目镜视场角：0 .4 毫米

照相机视场角：0 .131 毫米 x 0.0984 毫米

成像系统 1

成像镜头： 16 毫米素镜头

工作距离：160 毫米

有效放大倍率：0 .082 X

摄像头视场角：80 毫米 * 60 毫米

摄像头： ½ " CMOS 彩色 300 万像素

成像系统 2

成像镜头： LWD Plan Apo 5 倍显微镜物镜

工作距离：44 毫米

有效放大倍率 (@5X 物镜) ： 目镜 50 倍，相机 5 倍

目镜视场角 ： 4 毫米

摄像头视场角：1 .31 毫米 * 0.984 毫米

摄像头： ½ " CMOS 彩色 300 万像素

样品台

电动 XY 高精度平台

测量范围：200 毫米 x 100 毫米

编码器分辨率：1 微米

显示：DRO

聚焦 带自动对焦功能的电动 Z 平台

软件 ： 图像分析仪 - 自动扫描、拼接、定位、测量等。

应用

1.    半导体

2.    电气和电子部件

3.    精密汽车零部件

4.    塑料模具

5.    工具

6.    医疗器械